Моделирование процесса имплантации ионов Al + и B + в покрытие TIN, осажденное на стальную подложку; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 6-3
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 56, № 6-3.— 2013.— [С. 146-148] |
|---|---|
| Hlavní autor: | |
| Korporativní autor: | |
| Další autoři: | |
| Shrnutí: | Заглавие с экрана Предложена модель процесса поверхностной обработки, учитывающая перераспределение элементов между покрытием и подложкой, а также наличие примеси в поверхностном слое подложки. Представлены результаты численного исследования процесса модификации покрытия из TiN на железной подложке при бомбардировке комбинированным потоком ионов A1 + и B +. Дан пример эволюции состава покрытия в процессе обработки. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Jazyk: | ruština |
| Vydáno: |
2013
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://elibrary.ru/item.asp?id=21370821 |
| Médium: | Elektronický zdroj Kapitola |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=637554 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 637554 | ||
| 005 | 20250121092729.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\1706 | ||
| 090 | |a 637554 | ||
| 100 | |a 20140925d2013 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drnn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Моделирование процесса имплантации ионов Al + и B + в покрытие TIN, осажденное на стальную подложку |f О. Н. Крюкова, А. Г. Князева | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 148 (7 назв.)] | ||
| 330 | |a Предложена модель процесса поверхностной обработки, учитывающая перераспределение элементов между покрытием и подложкой, а также наличие примеси в поверхностном слое подложки. Представлены результаты численного исследования процесса модификации покрытия из TiN на железной подложке при бомбардировке комбинированным потоком ионов A1 + и B +. Дан пример эволюции состава покрытия в процессе обработки. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Известия вузов. Физика |o научный журнал |f Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) |d 1957- | ||
| 463 | |t Т. 56, № 6-3 |v [С. 146-148] |d 2013 | ||
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a ионная бомбардировка | |
| 610 | 1 | |a численное моделирование | |
| 610 | 1 | |a неравновесные процессы | |
| 610 | 1 | |a модификация | |
| 610 | 1 | |a покрытия | |
| 700 | 1 | |a Крюкова |b О. Н. |g Ольга Николаевна | |
| 701 | 1 | |a Князева |b А. Г. |c российский физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1962- |g Анна Георгиевна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25578 |9 11508 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |b Институт физики высоких технологий (ИФВТ) |b Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18687 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20160202 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=21370821 | |
| 942 | |c CF | ||