Моделирование процесса имплантации ионов Al + и B + в покрытие TIN, осажденное на стальную подложку

Моделирование процесса имплантации ионов Al + и B + в покрытие TIN, осажденное на стальную подложку

Bibliographic Details
Parent link:	Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 56, № 6-3.— 2013.— [С. 146-148]
Main Author:	Крюкова О. Н. Ольга Николаевна
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ)
Other Authors:	Князева А. Г. Анна Георгиевна
Summary:	Заглавие с экрана Предложена модель процесса поверхностной обработки, учитывающая перераспределение элементов между покрытием и подложкой, а также наличие примеси в поверхностном слое подложки. Представлены результаты численного исследования процесса модификации покрытия из TiN на железной подложке при бомбардировке комбинированным потоком ионов A1 + и B +. Дан пример эволюции состава покрытия в процессе обработки. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Published:	2013
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ ионная бомбардировка численное моделирование неравновесные процессы модификация покрытия
Online Access:	http://elibrary.ru/item.asp?id=21370821
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=637554

Internet

http://elibrary.ru/item.asp?id=21370821