Моделирование процесса имплантации ионов Al + и B + в покрытие TIN, осажденное на стальную подложку
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 56, № 6-3.— 2013.— [С. 146-148] |
|---|---|
| Κύριος συγγραφέας: | |
| Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: | |
| Άλλοι συγγραφείς: | |
| Περίληψη: | Заглавие с экрана Предложена модель процесса поверхностной обработки, учитывающая перераспределение элементов между покрытием и подложкой, а также наличие примеси в поверхностном слое подложки. Представлены результаты численного исследования процесса модификации покрытия из TiN на железной подложке при бомбардировке комбинированным потоком ионов A1 + и B +. Дан пример эволюции состава покрытия в процессе обработки. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Έκδοση: |
2013
|
| Θέματα: | |
| Διαθέσιμο Online: | http://elibrary.ru/item.asp?id=21370821 |
| Μορφή: | Ηλεκτρονική πηγή Κεφάλαιο βιβλίου |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=637554 |
| Περίληψη: | Заглавие с экрана Предложена модель процесса поверхностной обработки, учитывающая перераспределение элементов между покрытием и подложкой, а также наличие примеси в поверхностном слое подложки. Представлены результаты численного исследования процесса модификации покрытия из TiN на железной подложке при бомбардировке комбинированным потоком ионов A1 + и B +. Дан пример эволюции состава покрытия в процессе обработки. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
|---|