Моделирование диффузионных процессов, сопровождающих модификацию покрытия TiN при бомбандировке потоком ионов Al и B; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 5-2

Моделирование диффузионных процессов, сопровождающих модификацию покрытия TiN при бомбандировке потоком ионов Al и B; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 5-2

Bibliographic Details
Parent link:Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957-
Т. 55, № 5-2.— 2012.— [С. 57-63]
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ)
Other Authors: Крюкова О. Н. Ольга Николаевна, Князева А. Г. Анна Георгиевна, Сергеев В. П. Виктор Петрович, Лунёв А. Г. Алексей Геннадьевич
Summary:Заглавие с экрана
Представлены результаты численного исследования модификации покрытия на основе TiN при бомбардировке комбинированным потоком ионов Al + и B +. Сформулирована модель процесса поверхностной обработки, учитывающая перераспределение элементов между покрытием и подложкой, а также наличие примеси в поверхностном слое подложки. Проведена оценка параметров модели. Представлены примеры расчетов.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Language:Russian
Published: 2012
Subjects:
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
ионная бомбардировка
численное моделирование
процессы
перенос
неравновесные процессы
модификация
покрытия
Online Access:http://elibrary.ru/item.asp?id=18237881
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=637550

Similar Items

Similar Items