Моделирование диффузионных процессов, сопровождающих модификацию покрытия TiN при бомбандировке потоком ионов Al и B

Моделирование диффузионных процессов, сопровождающих модификацию покрытия TiN при бомбандировке потоком ионов Al и B

Bibliografiska uppgifter
Parent link:Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957-
Т. 55, № 5-2.— 2012.— [С. 57-63]
Institutionell upphovsman: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ)
Övriga upphovsmän: Крюкова О. Н. Ольга Николаевна, Князева А. Г. Анна Георгиевна, Сергеев В. П. Виктор Петрович, Лунёв А. Г. Алексей Геннадьевич
Sammanfattning:Заглавие с экрана
Представлены результаты численного исследования модификации покрытия на основе TiN при бомбардировке комбинированным потоком ионов Al + и B +. Сформулирована модель процесса поверхностной обработки, учитывающая перераспределение элементов между покрытием и подложкой, а также наличие примеси в поверхностном слое подложки. Проведена оценка параметров модели. Представлены примеры расчетов.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Publicerad: 2012
Ämnen:
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
ионная бомбардировка
численное моделирование
процессы
перенос
неравновесные процессы
модификация
покрытия
Länkar:http://elibrary.ru/item.asp?id=18237881
Materialtyp: Elektronisk Bokavsnitt
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=637550

Liknande verk

Liknande verk