Моделирование диффузионных процессов, сопровождающих модификацию покрытия TiN при бомбандировке потоком ионов Al и B

Моделирование диффузионных процессов, сопровождающих модификацию покрытия TiN при бомбандировке потоком ионов Al и B

Bibliographic Details
Parent link:	Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 55, № 5-2.— 2012.— [С. 57-63]
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ)
Other Authors:	Крюкова О. Н. Ольга Николаевна, Князева А. Г. Анна Георгиевна, Сергеев В. П. Виктор Петрович, Лунёв А. Г. Алексей Геннадьевич
Summary:	Заглавие с экрана Представлены результаты численного исследования модификации покрытия на основе TiN при бомбардировке комбинированным потоком ионов Al + и B +. Сформулирована модель процесса поверхностной обработки, учитывающая перераспределение элементов между покрытием и подложкой, а также наличие примеси в поверхностном слое подложки. Проведена оценка параметров модели. Представлены примеры расчетов. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Published:	2012
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ ионная бомбардировка численное моделирование процессы перенос неравновесные процессы модификация покрытия
Online Access:	http://elibrary.ru/item.asp?id=18237881
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=637550

Internet

http://elibrary.ru/item.asp?id=18237881