Моделирование диффузионных процессов, сопровождающих модификацию покрытия TiN при бомбандировке потоком ионов Al и B; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 5-2
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 55, № 5-2.— 2012.— [С. 57-63] |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | , , , |
| Summary: | Заглавие с экрана Представлены результаты численного исследования модификации покрытия на основе TiN при бомбардировке комбинированным потоком ионов Al + и B +. Сформулирована модель процесса поверхностной обработки, учитывающая перераспределение элементов между покрытием и подложкой, а также наличие примеси в поверхностном слое подложки. Проведена оценка параметров модели. Представлены примеры расчетов. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Language: | Russian |
| Published: |
2012
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://elibrary.ru/item.asp?id=18237881 |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=637550 |
MARC
| LEADER | 00000nla0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 637550 | ||
| 005 | 20250423092344.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\1702 | ||
| 090 | |a 637550 | ||
| 100 | |a 20140925d2012 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drnn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Моделирование диффузионных процессов, сопровождающих модификацию покрытия TiN при бомбандировке потоком ионов Al и B |f О. Н. Крюкова [и др.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 63 (16 назв.)] | ||
| 330 | |a Представлены результаты численного исследования модификации покрытия на основе TiN при бомбардировке комбинированным потоком ионов Al + и B +. Сформулирована модель процесса поверхностной обработки, учитывающая перераспределение элементов между покрытием и подложкой, а также наличие примеси в поверхностном слое подложки. Проведена оценка параметров модели. Представлены примеры расчетов. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Известия вузов. Физика |o научный журнал |f Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) |d 1957- | ||
| 463 | |t Т. 55, № 5-2 |v [С. 57-63] |d 2012 | ||
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a ионная бомбардировка | |
| 610 | 1 | |a численное моделирование | |
| 610 | 1 | |a процессы | |
| 610 | 1 | |a перенос | |
| 610 | 1 | |a неравновесные процессы | |
| 610 | 1 | |a модификация | |
| 610 | 1 | |a покрытия | |
| 701 | 1 | |a Крюкова |b О. Н. |g Ольга Николаевна | |
| 701 | 1 | |a Князева |b А. Г. |c российский физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1962- |g Анна Георгиевна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25578 |9 11508 | |
| 701 | 1 | |a Сергеев |b В. П. |c специалист в области материаловедения |c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук |f 1949- |g Виктор Петрович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25827 |9 11700 | |
| 701 | 1 | |a Лунёв |b А. Г. |c физик |c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук |g Алексей Геннадьевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\32708 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |b Институт физики высоких технологий (ИФВТ) |b Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18687 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20160202 |g RCR | |
| 850 | |a 63413507 | ||
| 856 | 4 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=18237881 | |
| 942 | |c CF | ||