Моделирование диффузионных процессов, сопровождающих модификацию покрытия TiN при бомбандировке потоком ионов Al и B
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 55, № 5-2.— 2012.— [С. 57-63] |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | , , , |
| Summary: | Заглавие с экрана Представлены результаты численного исследования модификации покрытия на основе TiN при бомбардировке комбинированным потоком ионов Al + и B +. Сформулирована модель процесса поверхностной обработки, учитывающая перераспределение элементов между покрытием и подложкой, а также наличие примеси в поверхностном слое подложки. Проведена оценка параметров модели. Представлены примеры расчетов. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Published: |
2012
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://elibrary.ru/item.asp?id=18237881 |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=637550 |
| Summary: | Заглавие с экрана Представлены результаты численного исследования модификации покрытия на основе TiN при бомбардировке комбинированным потоком ионов Al + и B +. Сформулирована модель процесса поверхностной обработки, учитывающая перераспределение элементов между покрытием и подложкой, а также наличие примеси в поверхностном слое подложки. Проведена оценка параметров модели. Представлены примеры расчетов. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
|---|