Динамическая модель начальной стадии процесса ионной имплантации; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 5-2

Динамическая модель начальной стадии процесса ионной имплантации; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 5-2

Bibliographic Details
Parent link:Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957-
Т. 55, № 5-2.— 2012.— [С. 34-41]
Main Author: Демидов В. Н. Валерий Николаевич
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ)
Other Authors: Князева А. Г. Анна Георгиевна, Ильина Е. С. Елена Сергеевна
Summary:Заглавие с экрана
Предложена связанная модель процесса внедрения элемента в поверхностный слой упругого образца в условиях ионной имплантации. Учитывается, что возникающие в результате взаимодействия частиц с поверхностью напряжения влияют на перераспределение имплантированной примеси. Решение задачи осуществляется численно. Учет взаимовлияния разных физических процессов приводит к необходимости тщательного выбора численного алгоритма. В результате получены распределения концентраций и деформаций в различные моменты времени для процессов, протекающих раздельно и совместно.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Language:Russian
Published: 2012
Subjects:
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
ионная имплантация
механические напряжения
математическое моделирование
взаимосвязь
Online Access:http://elibrary.ru/item.asp?id=18237877
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=637549

Similar Items

Similar Items