Динамическая модель начальной стадии процесса ионной имплантации
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 55, № 5-2.— 2012.— [С. 34-41] |
|---|---|
| Hoofdauteur: | |
| Coauteur: | |
| Andere auteurs: | , |
| Samenvatting: | Заглавие с экрана Предложена связанная модель процесса внедрения элемента в поверхностный слой упругого образца в условиях ионной имплантации. Учитывается, что возникающие в результате взаимодействия частиц с поверхностью напряжения влияют на перераспределение имплантированной примеси. Решение задачи осуществляется численно. Учет взаимовлияния разных физических процессов приводит к необходимости тщательного выбора численного алгоритма. В результате получены распределения концентраций и деформаций в различные моменты времени для процессов, протекающих раздельно и совместно. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Gepubliceerd in: |
2012
|
| Onderwerpen: | |
| Online toegang: | http://elibrary.ru/item.asp?id=18237877 |
| Formaat: | Elektronisch Hoofdstuk |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=637549 |
MARC
| LEADER | 00000nla0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 637549 | ||
| 005 | 20250423092242.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\1701 | ||
| 090 | |a 637549 | ||
| 100 | |a 20140925d2012 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drnn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Динамическая модель начальной стадии процесса ионной имплантации |f В. Н. Демидов, А. Г. Князева, Е. С. Ильина | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 41 (11 назв.)] | ||
| 330 | |a Предложена связанная модель процесса внедрения элемента в поверхностный слой упругого образца в условиях ионной имплантации. Учитывается, что возникающие в результате взаимодействия частиц с поверхностью напряжения влияют на перераспределение имплантированной примеси. Решение задачи осуществляется численно. Учет взаимовлияния разных физических процессов приводит к необходимости тщательного выбора численного алгоритма. В результате получены распределения концентраций и деформаций в различные моменты времени для процессов, протекающих раздельно и совместно. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Известия вузов. Физика |o научный журнал |f Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) |d 1957- | ||
| 463 | |t Т. 55, № 5-2 |v [С. 34-41] |d 2012 | ||
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a ионная имплантация | |
| 610 | 1 | |a механические напряжения | |
| 610 | 1 | |a математическое моделирование | |
| 610 | 1 | |a взаимосвязь | |
| 700 | 1 | |a Демидов |b В. Н. |c физик |c доцент Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук |f 1952- |g Валерий Николаевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\32707 | |
| 701 | 1 | |a Князева |b А. Г. |c российский физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1962- |g Анна Георгиевна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25578 |9 11508 | |
| 701 | 1 | |a Ильина |b Е. С. |c инженер Томского политехнического университета |f 1989- |g Елена Сергеевна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\32756 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |b Институт физики высоких технологий (ИФВТ) |b Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18687 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20160202 |g RCR | |
| 850 | |a 63413507 | ||
| 856 | 4 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=18237877 | |
| 942 | |c CF | ||