Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013

Detalles Bibliográficos
Parent link:	ФВЗЧК-2013.— 2013.— [С. 128]
Autor Principal:	Кабышев А. В. Александр Васильевич
Corporate Authors:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Энергетический институт (ЭНИН) Кафедра электроснабжения промышленных предприятий (ЭПП), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Лаборатория № 1, Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ)
Outros autores:	Конусов Ф. В. Федор Валерьевич, Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
Summary:	Заглавие с экрана
Idioma:	ruso
Publicado:	2013
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ ионы имплантация поликристаллический кремний
Acceso en liña:	http://danp.sinp.msu.ru/pci2013/program2013.pdf#page=146
Formato:	Electrónico Capítulo de libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=637377

Títulos similares

Электрические и фотоэлектрические свойства поликристаллического кремния после высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 6
por: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Publicado: (2013)

Способ получения поликристаллического кремния
Publicado: ()

Влияние совместной имплантации ионов железа и хрома на оптические свойства оксида алюминия; ФВЗЧК-2009
por: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Publicado: (2009)

High Intensive Short Pulsed Ions Implantation Effect on Electrical and Photoelectrical Properties of Polycrystalline Silicon; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 12-3
por: Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich
Publicado: (2012)

Оптические свойства оксида алюминия после имплантации ионов кобальта и отжига; ФВЗЧК-2008
por: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Publicado: (2008)

Установка для получения поликристаллического кремния
Publicado: ()

Способ получения поликристаллического кремния
Publicado: ()

Технология получения поликристаллического кремния фторидным способом; Физико-технические проблемы атомной энергетики и промышленности
por: Андреев А. А. Артем Андреевич
Publicado: (2007)

Установка для получения стержней поликристаллического кремния
Publicado: ()

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 11
Publicado: (2014)

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Publicado: ()

Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе
Publicado: ()

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Publicado: ()

Математическая модель SIEMENS-реактора производства поликристаллического кремния как объект управления; Становление и развитие научных исследований в высшей школе; Т. 1
por: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicado: (2009)

Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния
Publicado: ()

Анализ и обоснование возможности применения высокочастотного тока для нагрева стержней-основ установки производства поликристаллического кремния; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
Publicado: (2009)

Формирование наноразмерных частиц карбида кремния и алмазов в поверхностном слое кремниевой мишени при короткоимпульсной имплантации ионов углерода; Журнал технической физики; Т. 79, вып. 4
Publicado: (2009)

Численное моделирование динамики температурных полей в монокристаллическом кремнии при импульсно-периодической высокоинтенсивной ионной имплантации и энергетическом воздействии пучка на поверхность; Известия вузов. Физика; Т. 65, № 11
Publicado: (2022)

Исследование высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний в условиях энергетического воздействия пучка на поверхность; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 10
Publicado: (2024)

Влияние различных видов отжига на концентрационные профили ионов кремния, имплантированных в арсенид галлия; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/3 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
por: Чернявский А. В. Александр Викторович
Publicado: (2011)

Алгоритм управления Siemens-реактором призводства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 2
por: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicado: (2010)

Влияние высокоинтенсивной имплантации ионов азота на структуру и поведение стали 40Х в условиях трения и износа; Физическая мезомеханика; Т. 5, № 1
Publicado: (2002)

Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 3
por: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicado: (2010)

Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика
Publicado: (2009)

Модификация стали 40Х при высокоинтенсивной имплантации ионов азота; Известия вузов. Физика; Т. 61, № 2
Publicado: (2018)

Управление процессами массопереноса при получении поликристаллического кремния методом Бриджмена; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 320, № 2 : Математика и механика. Физика
por: Цивинская Ю. С.
Publicado: (2012)

Влияние высокодозной имплантации ионов азота на износостойкость медных пар трения; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
por: Жарков С. Ю.
Publicado: (2014)

Численное моделирование тепловых процессов и влияния нагрева приповерхностных слоев кремния на накопление и диффузию титана при высокоинтенсивной импульсной ионной имплантации; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
por: Иванова А. И. Анна Ивановна
Publicado: (2024)

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на электрические и фотоэлектрические свойства поликристаллического кремния; труды ХXII Международной конференции "Радиационная физика твердого тела" (Севастополь, 9-14 июля 2012 г.)
por: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Publicado: (2012)

Особенности высокоинтенсивной имплантации хрома в сплав Zr1%Nb с использованием импульсно-периодического пучка ионов высокой плотности мощности; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
Publicado: (2024)

Моделирование температурных полей в мишенях при совмещенииимпульсно-периодической высокоинтенсивной имплантации ионов иэнергетическом воздействии на поверхность; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE); International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows (16th CMM)
Publicado: (2022)

Синтез адаптивной системы управления нестационарным объектом - Siemens-реактором получения поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 319, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика
por: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicado: (2011)

Влияние высокодозной имплантации ионов азота на износостойкость пар трения на основе меди; Перспективы развития фундаментальных наук
por: Жарков С. Ю.
Publicado: (2014)

Особенности высокоинтенсивной имплантации ионов низкой энергии; Известия вузов. Физика; Т. 63, № 10 (754)
Publicado: (2020)

Исследование влияния неоднородности характеристик исходного материала кремния на параметры фотоэлектрических преобразователей; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 314, № 2: Математика и механика. Физика
por: Лапатин Л. Г.
Publicado: (2009)

Кн. 1; Технология СБИС
Publicado: (1986)

Transport charge of gallium arsenide films synthesized on polycrystalline silicon by ion ablation; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 552: International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2014), 21–26 September 2014, Tomsk, Russia
Publicado: (2014)

Повышение поверхностной проводимости кремнийорганической резины методом имплантации ионов металлов; Высокие технологии в современной науке и технике
por: Ращупкина Ю. С.
Publicado: (2015)

Влияние имплантации ионов цинка, магния и серебра на поверхностные физико-химические свойства поливинилового спирта; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 2 : Химия
por: Лапуть О. А.
Publicado: (2019)

Оптические свойства поликристаллического оксида алюминия после облучения ионами железа и отжига; ФВЗЧК-2006
por: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Publicado: (2006)