Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013

Dades bibliogràfiques
Parent link:	ФВЗЧК-2013.— 2013.— [С. 128]
Autor principal:	Кабышев А. В. Александр Васильевич
Autor corporatiu:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Энергетический институт (ЭНИН) Кафедра электроснабжения промышленных предприятий (ЭПП), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Лаборатория № 1, Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ)
Altres autors:	Конусов Ф. В. Федор Валерьевич, Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
Sumari:	Заглавие с экрана
Idioma:	rus
Publicat:	2013
Matèries:	электронный ресурс труды учёных ТПУ ионы имплантация поликристаллический кремний
Accés en línia:	http://danp.sinp.msu.ru/pci2013/program2013.pdf#page=146
Format:	Electrònic Capítol de llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=637377

Internet

http://danp.sinp.msu.ru/pci2013/program2013.pdf#page=146