|
|
|
|
| LEADER |
00000naa0a2200000 4500 |
| 001 |
637377 |
| 005 |
20250528094054.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\network\1494
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\network\788
|
| 090 |
|
|
|a 637377
|
| 100 |
|
|
|a 20140904d2013 k||y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния
|f А. В. Кабышев, Ф. В. Конусов, Г. Е. Ремнев
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с экрана
|
| 320 |
|
|
|a [Библиогр.: с. 128 (4 назв.)]
|
| 463 |
|
|
|t ФВЗЧК-2013
|o тезисы докладов ХLIII международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, г. Москва, 28 мая - 30 мая 2013 г.
|f Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова (МГУ) ; Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова (МГУ), Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д. В. Скобельцына (НИИЯФ)
|v [С. 128]
|d 2013
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a ионы
|
| 610 |
1 |
|
|a имплантация
|
| 610 |
1 |
|
|a поликристаллический кремний
|
| 700 |
|
1 |
|a Кабышев
|b А. В.
|c специалист в области электроэнергетики
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1958-
|g Александр Васильевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27068
|
| 701 |
|
1 |
|a Конусов
|b Ф. В.
|c физик
|c ведущий инженер Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук
|f 1958-
|g Федор Валерьевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30120
|9 14526
|
| 701 |
|
1 |
|a Ремнев
|b Г. Е.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук
|f 1948-
|g Геннадий Ефимович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22004
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|b Энергетический институт (ЭНИН)
|b Кафедра электроснабжения промышленных предприятий (ЭПП)
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\18676
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|b Институт физики высоких технологий (ИФВТ)
|b Лаборатория № 1
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\19035
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|b Физико-технический институт (ФТИ)
|b Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ)
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\18735
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150609
|g RCR
|
| 850 |
|
|
|a 63413507
|
| 856 |
4 |
|
|u http://danp.sinp.msu.ru/pci2013/program2013.pdf#page=146
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
