Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013

Մատենագիտական մանրամասներ
Parent link:ФВЗЧК-2013.— 2013.— [С. 128]
Հիմնական հեղինակ: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Համատեղ հեղինակներ: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Энергетический институт (ЭНИН) Кафедра электроснабжения промышленных предприятий (ЭПП), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Лаборатория № 1, Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ)
Այլ հեղինակներ: Конусов Ф. В. Федор Валерьевич, Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
Ամփոփում:Заглавие с экрана
Լեզու:ռուսերեն
Հրապարակվել է: 2013
Խորագրեր:
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
ионы
имплантация
поликристаллический кремний
Առցանց հասանելիություն:http://danp.sinp.msu.ru/pci2013/program2013.pdf#page=146
Ձևաչափ: Էլեկտրոնային Գրքի գլուխ
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=637377
Նկարագրություն
Ամփոփում:Заглавие с экрана

Նմանատիպ նյութեր