APA (7th ed.) Citation

Кабышев А. В. Александр Васильевич, Конусов Ф. В. Федор Валерьевич, & Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович. (2013). Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013. 2013.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Кабышев А. В. Александр Васильевич, Конусов Ф. В. Федор Валерьевич, and Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович. Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013. 2013, 2013.

MLA (9th ed.) Citation

Кабышев А. В. Александр Васильевич, et al. Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013. 2013, 2013.