Электрические и фотоэлектрические свойства пленок, осажденных на нитриде бора из электроразрядной титансодержащей плазмы

Электрические и фотоэлектрические свойства пленок, осажденных на нитриде бора из электроразрядной титансодержащей плазмы

Bibliographic Details
Parent link:	Взаимодействие излучений с твердым телом: материалы 10-й Международной конференции, 24-27 сентября 2013 г., г. Минск/ Белорусский государственный университет (БГУ). [С. 302-304].— , 2013
Main Author:	Кабышев А. В. Александр Васильевич
Corporate Authors:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Энергетический институт (ЭНИН) Кафедра электроснабжения промышленных предприятий (ЭПП), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Лаборатория № 1
Other Authors:	Конусов Ф. В. Федор Валерьевич, Сивков А. А. Александр Анатольевич
Summary:	Заглавие с титульного листа Исследованы характеристики темновой и фотопроводимости пленок, осажденных на подложку пиролитического нитрида бора из электроразрядной титансодержащей плазмы. Установлено влияние отжига в вакууме при остаточном давлении Р=10-2 Па и на воздухе при температуре Тотж=300-1200 К на электрические и фотоэлектрические характеристики пленок. Выделяется три стадии отжига Тотж=300-750, 750-900 и 900-1600 К с характерными особенностями изменения параметров электропереноса.
Language:	Russian
Published:	2013
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ электрические свойства фотоэлектрические свойства пленки нитрид бора плазма
Online Access:	http://elib.bsu.by/handle/123456789/48460
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=637375

Internet

http://elib.bsu.by/handle/123456789/48460