Ионный абляционный синтез пленок арсенида галлия на кремниевой подложке

Ионный абляционный синтез пленок арсенида галлия на кремниевой подложке

Bibliographic Details
Parent link:	Известия вузов. Физика: научный журнал.— , 1957- Т. 55, № 6-2.— 2012.— [С. 32-36]
Main Author:	Кабышев А. В. Александр Васильевич
Corporate Authors:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Энергетический институт (ЭНИН) Кафедра электроснабжения промышленных предприятий (ЭПП), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Лаборатория № 1, Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ)
Other Authors:	Конусов Ф. В. Федор Валерьевич, Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
Summary:	Заглавие с экрана Исследованы оптические, электрофизические и фотоэлектрические свойства тонких пленок GaAs, осажденных на поликристаллический кремний импульсной ионной абляцией с использованием мощных ионных пучков. Установлено влияние отжига в вакууме (10 -2 Па, 300-900 К) на характеристики поверхностной и объемной темновой и фотопроводимости пленок. Определены оптимальные условия термовакуумной обработки пленок, при которой достигаются изменения свойств, наиболее устойчивые к термическому и полевому возбуждению. Установлены вероятные причины изменения электрических и фотоэлектрических характеристик пленок. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Language:	Russian
Published:	2012
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ кремний арсенид галлия фотопроводимость вакуумный отжиг фоточувствительность
Online Access:	http://elibrary.ru/item.asp?id=18441357
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=637363

Internet

http://elibrary.ru/item.asp?id=18441357