|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
635367 |
| 005 |
20260709164106.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\conf\37213
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\conf\37209
|
| 090 |
|
|
|a 635367
|
| 100 |
|
|
|a 20221228a2022 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Осаждение тонкопленочного люминесцентного покрытия состава Y3Al5O12:Ce методом магнетронного распыления
|f А. А. Рунц, В. А. Грудинин
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 225 |
1 |
|
|a Материаловедение и нанотехнологии в машиностроении
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с экрана
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 181-182 (3 назв.)
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\conf\37109
|t Современные проблемы машиностроения
|o сборник трудов XV Международной научно-технической конференции, г. Томск, 22-25 ноября 2022 г.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; ред. кол. Е. Н. Пашков [и др.]
|v С. 180-182
|d 2022
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкопленочные покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a люминесцентные покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a люминофоры
|
| 610 |
1 |
|
|a технологические параметры
|
| 610 |
1 |
|
|a отжиг
|
| 610 |
1 |
|
|a свойства
|
| 700 |
|
1 |
|a Рунц
|b А. А.
|c физик
|c инженер Томского политехнического университета
|f 1998-
|g Артем Алексеевич
|9 89329
|
| 701 |
|
1 |
|a Грудинин
|b В. А.
|c физик
|c инженер Томского политехнического университета
|f 1995-
|g Владислав Алексеевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\42339
|9 21518
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20230126
|g RCR
|
| 856 |
4 |
0 |
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/74410
|z http://earchive.tpu.ru/handle/11683/74410
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
