Осаждение тонкопленочного люминесцентного покрытия состава Y3Al5O12:Ce методом магнетронного распыления

Осаждение тонкопленочного люминесцентного покрытия состава Y3Al5O12:Ce методом магнетронного распыления

Bibliographic Details
Parent link:	Современные проблемы машиностроения: сборник трудов XV Международной научно-технической конференции, г. Томск, 22-25 ноября 2022 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; ред. кол. Е. Н. Пашков [и др.]. [С. 180-182].— , 2022
Main Author:	Рунц А. А.
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Other Authors:	Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Summary:	Заглавие с экрана
Published:	2022
Series:	Материаловедение и нанотехнологии в машиностроении
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ осаждение тонкопленочные покрытия люминесцентные покрытия магнетронное распыление люминофоры технологические параметры отжиг свойства
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/74410
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=635367

Internet

http://earchive.tpu.ru/handle/11683/74410