Сравнительный анализ влияния концентрации CH4/N2 на микроструктуру и свойства алмазных пленок

Сравнительный анализ влияния концентрации CH4/N2 на микроструктуру и свойства алмазных пленок

Detalhes bibliográficos
Parent link:Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения.— 2022.— [С. 363-364]
Corporate Authors: Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа новых производственных технологий Научно-производственная лаборатория "Импульсно-пучковых, электроразрядных и плазменных технологий", Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов
Outros Autores: Митулинский А. С. Александр Сергеевич, Гайдайчук А. В. Александр Валерьевич, Линник С. А. Степан Андреевич, Зенкин С. П. Сергей Петрович
Resumo:Заглавие с экрана
Idioma:russo
Publicado em: 2022
Colecção:Модификация поверхности
Assuntos:
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
сравнительный анализ
концентрация
микроструктуры
химические свойства
алмазные пленки
химическое осаждение
остаточные напряжения
Acesso em linha:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/74185
Formato: Recurso Electrónico Capítulo de Livro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=635225
Descrição
Resumo:Заглавие с экрана

Registos relacionados