Сравнительный анализ влияния концентрации CH4/N2 на микроструктуру и свойства алмазных пленок

Сравнительный анализ влияния концентрации CH4/N2 на микроструктуру и свойства алмазных пленок

Bibliographic Details
Parent link:	Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения.— 2022.— [С. 363-364]
Corporate Authors:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа новых производственных технологий Научно-производственная лаборатория "Импульсно-пучковых, электроразрядных и плазменных технологий", Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов
Other Authors:	Митулинский А. С. Александр Сергеевич, Гайдайчук А. В. Александр Валерьевич, Линник С. А. Степан Андреевич, Зенкин С. П. Сергей Петрович
Summary:	Заглавие с экрана
Language:	Russian
Published:	2022
Series:	Модификация поверхности
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ сравнительный анализ концентрация микроструктуры химические свойства алмазные пленки химическое осаждение остаточные напряжения
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/74185
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=635225

Internet

http://earchive.tpu.ru/handle/11683/74185