Коррозионные свойства хромовых покрытий: роль плазменного ассистирования при магнетронном распылении
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2022 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2022 Т. 1 : Физика.— 2022.— [С. 173-175] |
|---|---|
| 第一著者: | |
| 団体著者: | |
| その他の著者: | , |
| 要約: | Заглавие с экрана This paper describes an effect of plasma assistance on corrosion properties of chromium coatings obtained by magnetron sputtering. It was found that plasma assistance results in 2-5 times increase in polarization resistance depending on the type of sputtering target. The most pronounced effect of plasma assistance is observed for high-rate coating deposition using magnetron sputtering with a “hot” target. |
| 言語: | ロシア語 |
| 出版事項: |
2022
|
| 主題: | |
| オンライン･アクセス: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72926 |
| フォーマット: | 電子媒体 図書の章 |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=634698 |
MARC
| LEADER | 00000naa2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 634698 | ||
| 005 | 20260209150815.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\conf\36516 | ||
| 035 | |a RU\TPU\conf\36513 | ||
| 090 | |a 634698 | ||
| 100 | |a 20220818d2022 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a y z 100zy | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Коррозионные свойства хромовых покрытий: роль плазменного ассистирования при магнетронном распылении |d Corrosion properties of chromium coatings: effect of plasma assistance for magnetron sputtering |f Д. В. Сиделёв, В. А. Грудинин, К. А. Алкенова |g науч. рук. Д. В. Сиделёв | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 175 (8 назв.)] | ||
| 330 | |a This paper describes an effect of plasma assistance on corrosion properties of chromium coatings obtained by magnetron sputtering. It was found that plasma assistance results in 2-5 times increase in polarization resistance depending on the type of sputtering target. The most pronounced effect of plasma assistance is observed for high-rate coating deposition using magnetron sputtering with a “hot” target. | ||
| 461 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\conf\36478 |t Перспективы развития фундаментальных наук |l Prospects of Fundamental Sciences Development |o сборник научных трудов XIX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2022 г. |o в 7 т. |f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой |d 2022 | |
| 463 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\conf\36479 |t Т. 1 : Физика |v [С. 173-175] |d 2022 | |
| 510 | 1 | |a Corrosion properties of chromium coatings: effect of plasma assistance for magnetron sputtering |z eng | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a коррозионные свойства | |
| 610 | 1 | |a хромовые покрытия | |
| 610 | 1 | |a магнетронное распыление | |
| 610 | 1 | |a хромирование | |
| 610 | 1 | |a плазменное ассистирование | |
| 700 | 1 | |a Сиделёв |b Д. В. |c физик |c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук |f 1991- |g Дмитрий Владимирович |y Томск |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34510 |9 17891 | |
| 701 | 1 | |a Грудинин |b В. А. |c физик |c инженер Томского политехнического университета |f 1995- |g Владислав Алексеевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\42339 |9 21518 | |
| 701 | 1 | |a Алкенова |b К. А. | |
| 702 | 1 | |a Сиделёв |b Д. В. |c физик |c инженер кафедры Томского политехнического университета |f 1991- |g Дмитрий Владимирович |4 727 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |b Инженерная школа ядерных технологий |b Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга |3 (RuTPU)RU\TPU\col\23561 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20220908 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72926 | |
| 942 | |c BK | ||