Коррозионные свойства хромовых покрытий: роль плазменного ассистирования при магнетронном распылении

Коррозионные свойства хромовых покрытий: роль плазменного ассистирования при магнетронном распылении

Bibliographic Details
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2022 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2022 Т. 1 : Физика.— 2022.— [С. 173-175]
Main Author:	Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Other Authors:	Грудинин В. А. Владислав Алексеевич (727), Алкенова К. А.
Summary:	Заглавие с экрана This paper describes an effect of plasma assistance on corrosion properties of chromium coatings obtained by magnetron sputtering. It was found that plasma assistance results in 2-5 times increase in polarization resistance depending on the type of sputtering target. The most pronounced effect of plasma assistance is observed for high-rate coating deposition using magnetron sputtering with a “hot” target.
Published:	2022
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ коррозионные свойства хромовые покрытия магнетронное распыление хромирование плазменное ассистирование
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72926
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=634698

Internet

http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72926