Влияние параметров магнетронного распыления на микроструктуру и механические свойства покрытий Ti-Al-Ta-N; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика

Влияние параметров магнетронного распыления на микроструктуру и механические свойства покрытий Ti-Al-Ta-N; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика

Dettagli Bibliografici
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2022 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2022 Т. 1 : Физика.— 2022.— [С. 56-58]
Autore principale:	Гаранин Ю. А.
Ente Autore:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Altri autori:	Кузьминов Е. Д. (научный руководитель), Шугуров А. Р. Артур Рубинович
Riassunto:	Заглавие с экрана The microstructure and mechanical properties of Ti-Al-Ta-N coatings obtained by DC and pulsed magnetron sputtering are investigated. It is shown that the coatings deposited in the pulsed regimes are characterized by denser mixed microstructure with columnar and equiaxed grains compared with the columnar DC coating. The changes in the microstructure are found to provide increased mechanical properties of the coatings obtained in the pulsed regimes.
Lingua:	russo
Pubblicazione:	2022
Soggetti:	электронный ресурс труды учёных ТПУ магнетронное распыление микроструктуры механические свойства покрытия
Accesso online:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72901
Natura:	Elettronico Capitolo di libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=634675

Documenti analoghi

Влияние параметров биполярного импульсного магнетронного распыления на элементный состав и механические характеристики покрытий Ti-Al-Ta-N; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
di: Гаранин Ю. А.
Pubblicazione: (2023)

Влияние предварительной обработки ионным пучком титана на внутренние напряжения и микроструктуру покрытий TiAlN, полученных методом магнетронного распыления; Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций
Pubblicazione: (2015)

Влияние параметров осаждения на свойства покрытий TiN, наносимых методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
di: Шпакова Н. Ю.
Pubblicazione: (2009)

Осаждение сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий методом импульсного сильноточного реактивного магнетронного распыления; Журнал технической физики; Т. 86, вып. 2
Pubblicazione: (2016)

Морфология поверхности покрытий оксидов и/или оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
di: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
Pubblicazione: (2014)

Структура и свойства покрытий системы Hf-Al-C, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Современные материалы и технологии новых поколений
di: Зелецов Д.
Pubblicazione: (2019)

Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
di: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Pubblicazione: (2012)

Исследование элементного состава кальций-фосфатных покрытий, нанесённых методом ВЧ-магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
Pubblicazione: (2008)

Структура и свойства покрытий на основе Ti-O-N, сформированных методом реактивного магнетронного распыления; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 10
Pubblicazione: (2013)

Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
di: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Pubblicazione: (2009)

Формирование градиентных покрытий на основе, Ti-Al-Cr-B-N при ионно-магнетронном распылении композиционных мишеней; Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций
Pubblicazione: (2017)

Изменение микроструктуры и механических свойств защитных покрытий на основе Si-Al-N при легировании рением с помощью магнетронного распыления мишени ALSIRE в атмосфере азота и аргона; Современные проблемы машиностроения
di: Турсунханова Р. Рыскуль
Pubblicazione: (2024)

Растворение in vitro, структурные и электрокинетические характеристики оксинитридных покрытий титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 3
Pubblicazione: (2016)

Исследование поверхностной плотности заряда тонких оксидных покрытий TiO2, полученных методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 3
di: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Pubblicazione: (2010)

Microstructure and properties of nanocomposite Al-Si-N system coatings produced by magnetron sputtering; AIP Conference Proceedings; Vol. 1772 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2016)
Pubblicazione: (2016)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
di: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Pubblicazione: (2009)

Магнетронное осаждение двухслойных покрытий Ta/SiAlN и SiAlN/TaN для защиты кварцевых стекол от ударов гиперскоростных микрочастиц железа; Проблемы прочности и пластичности материалов в условиях внешних энергетических воздействий
Pubblicazione: (2021)

Исследование скоростей роста медных покрытий при различных методах магнетронного распыления; Высокие технологии в современной науке и технике
Pubblicazione: (2014)

Исследование повехностной плотности электрического заряда биосовместимых покрытий полученных методом магнетронного распыления; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
di: Быкова Ю. В. Юлия Владиславовна
Pubblicazione: (2010)

Остеогенный потенциал покрытий на основе гидроксиа-патита, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
di: Грибенников М. В.
Pubblicazione: (2013)

Формирование износостойких многослойных нанокомпозитных покрытий на основе систем ZR-Y-O И SI-AL-N методом магнетронного распыления композиционных мишеней; Современные техника и технологии; Т. 3
Pubblicazione: (2012)

Получение кальцийфосфатных биосовместимых покрытий методом магнетронного распыления и их свойства; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 6
Pubblicazione: (2006)

Осаждение хромовых покрытий с помощью магнетронного распыления «горячей» мишени с ассистированием внешним плазменным источником; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
di: Бондарь А. А. Альберт Алексеевич
Pubblicazione: (2022)

Физико-механические характеристики PLLA пленок, модифицированных методом ВЧ-магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 1
di: Богомолова Н. Н. Наталья Николаевна
Pubblicazione: (2014)

Влияние легирования Ta на морфологию поверхности, микроструктуру и механические характеристики покрытий TiAlN; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
Pubblicazione: (2018)

Электрический потенциал тонкого биоактивного покрытия на основе цинк-замещенного гидроксиапатита, полученного на титане методом ВЧ магнетронного распыления; Современные технологии и материалы новых поколений
di: Просолов К. А. Константин Александрович
Pubblicazione: (2017)

Влияние процесса распыления на структуру ВЧ-магнетронных тонких пленок; Перспективы развития фундаментальных наук
di: Шаронова А. А. Анна Александровна
Pubblicazione: (2013)

The Tribological Properties and the Microstructure of Cu-Mo-S Coatings; AIP Conference Proceedings; Vol. 1683 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures
Pubblicazione: (2015)

Исследование эффективности Pt/C каталитических слоев, осажденных методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
di: Олейников Д. Ю.
Pubblicazione: (2024)

Влияние параметров осаждения на микроструктуру и механические характеристики покрытий Ti-Al-Ta-N; Иерархические материалы: разработка и приложения для новых технологий и надежных конструкций
Pubblicazione: (2018)

Кн. 1: Введение в физику и технику магнетронного распыления; Магнетронные распылительные системы
Pubblicazione: (2008)

Изучение свойств поверхности и растворимости покрытий оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
di: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Pubblicazione: (2016)

Формирование градиентного слоя хром-цирконий с помощью магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
di: Ромбаева М. Р.
Pubblicazione: (2019)

Влияние термической обработки на свойства кремнийсодержащих кальцийфосфатных покрытий, сформированных методом ВЧ-магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
di: Грубова И. Ю. Ирина Юрьевна
Pubblicazione: (2010)

Кремнийсодержащее кальций-фосфатное покрытие, сформированное методом ВЧ-магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
di: Сурменева М. А. Мария Александровна
Pubblicazione: (2010)

Осаждение тонкопленочного люминесцентного покрытия состава Y3Al5O12:Ce методом магнетронного распыления; Современные проблемы машиностроения
di: Рунц А. А. Артем Алексеевич
Pubblicazione: (2022)

Исследование влияния отрицательного смещения подложки на параметры плазмы ВЧ-магнетронного распыления методом двойного зонда Ленгмюра; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
di: Мухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович
Pubblicazione: (2014)

Влияние магнетронного распыления меди на морфологию и химический состав поверхности ВДФ-ТеФЭ мембран; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
di: Бадараев А. Д. Арсалан Доржиевич
Pubblicazione: (2020)

Свойства тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного распыления; Материаловедение; № 9
di: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Pubblicazione: (2016)

Модифицирование биорезорбируемых полимерных кровеносных сосудов TISIN покрытиями методом дуального магнетронного распыления; Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения
di: Лаушкина А. А. Алина Алексеевна
Pubblicazione: (2023)