Влияние параметров магнетронного распыления на микроструктуру и механические свойства покрытий Ti-Al-Ta-N

Влияние параметров магнетронного распыления на микроструктуру и механические свойства покрытий Ti-Al-Ta-N

Bibliographic Details
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2022 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2022 Т. 1 : Физика.— 2022.— [С. 56-58]
Main Author:	Гаранин Ю. А.
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Other Authors:	Кузьминов Е. Д. (727), Шугуров А. Р. Артур Рубинович
Summary:	Заглавие с экрана The microstructure and mechanical properties of Ti-Al-Ta-N coatings obtained by DC and pulsed magnetron sputtering are investigated. It is shown that the coatings deposited in the pulsed regimes are characterized by denser mixed microstructure with columnar and equiaxed grains compared with the columnar DC coating. The changes in the microstructure are found to provide increased mechanical properties of the coatings obtained in the pulsed regimes.
Language:	Russian
Published:	2022
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ магнетронное распыление микроструктуры механические свойства покрытия
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72901
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=634675

Internet

http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72901