Влияние параметров магнетронного распыления на микроструктуру и механические свойства покрытий Ti-Al-Ta-N
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2022 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2022 Т. 1 : Физика.— 2022.— [С. 56-58] |
|---|---|
| Hlavní autor: | |
| Korporativní autor: | |
| Další autoři: | , |
| Shrnutí: | Заглавие с экрана The microstructure and mechanical properties of Ti-Al-Ta-N coatings obtained by DC and pulsed magnetron sputtering are investigated. It is shown that the coatings deposited in the pulsed regimes are characterized by denser mixed microstructure with columnar and equiaxed grains compared with the columnar DC coating. The changes in the microstructure are found to provide increased mechanical properties of the coatings obtained in the pulsed regimes. |
| Jazyk: | ruština |
| Vydáno: |
2022
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72901 |
| Médium: | Elektronický zdroj Kapitola |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=634675 |
MARC
| LEADER | 00000naa2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 634675 | ||
| 005 | 20231101133826.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\conf\36493 | ||
| 035 | |a RU\TPU\conf\36492 | ||
| 090 | |a 634675 | ||
| 100 | |a 20220816d2022 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus |d eng | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a y z 100zy | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Влияние параметров магнетронного распыления на микроструктуру и механические свойства покрытий Ti-Al-Ta-N |d Influence of parameters of magnetron sputtering on microstructure and mechanical properties of Ti-Al-Ta-N coatings |f Ю. А. Гаранин, Е. Д. Кузьминов |g науч. рук. А. Р. Шугуров | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 230 | |a 1 компьютерный файл (pdf; 259 Kb) | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 58 (2 назв.)] | ||
| 330 | |a The microstructure and mechanical properties of Ti-Al-Ta-N coatings obtained by DC and pulsed magnetron sputtering are investigated. It is shown that the coatings deposited in the pulsed regimes are characterized by denser mixed microstructure with columnar and equiaxed grains compared with the columnar DC coating. The changes in the microstructure are found to provide increased mechanical properties of the coatings obtained in the pulsed regimes. | ||
| 461 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\conf\36478 |t Перспективы развития фундаментальных наук |l Prospects of Fundamental Sciences Development |o сборник научных трудов XIX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2022 г. |o в 7 т. |f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой |d 2022 | |
| 463 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\conf\36479 |t Т. 1 : Физика |v [С. 56-58] |d 2022 | |
| 510 | 1 | |a Influence of parameters of magnetron sputtering on microstructure and mechanical properties of Ti-Al-Ta-N coatings |z eng | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a магнетронное распыление | |
| 610 | 1 | |a микроструктуры | |
| 610 | 1 | |a механические свойства | |
| 610 | 1 | |a покрытия | |
| 700 | 1 | |a Гаранин |b Ю. А. | |
| 701 | 1 | |a Кузьминов |b Е. Д. | |
| 702 | 1 | |a Шугуров |b А. Р. |c специалист в области материаловедения |c старший научный сотрудник Томского политехнического университета, доктор наук |f 1967- |g Артур Рубинович |2 stltpush |4 727 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |b Инженерная школа ядерных технологий |b Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга |h 7866 |2 stltpush |3 (RuTPU)RU\TPU\col\23561 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20220908 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72901 | |
| 942 | |c BK | ||