Осаждение хромовых покрытий с помощью магнетронного распыления «горячей» мишени с ассистированием внешним плазменным источником; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2022 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2022 Т. 1 : Физика.— 2022.— [С. 35-37] |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Бондарь А. А. Альберт Алексеевич |
| Körperschaft: | Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга |
| Weitere Verfasser: | Грудинин В. А. Владислав Алексеевич (научный руководитель), Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович |
| Zusammenfassung: | Заглавие с экрана This work shows the possibility to tailor a hardness of 1 µm-thick Cr coatings obtained by high-rate deposition using magnetron sputtering with a "hot" target. For this purpose, an external plasma source was additionally applied to control the hardness of the Cr coatings in the range of 4 to 18 GPa. |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
2022
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72943 |
| Format: | Elektronisch Buchkapitel |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=634669 |
Ähnliche Einträge
High-rate deposition of chromium coatings by magnetron sputtering; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Veröffentlicht: (2019)
Veröffentlicht: (2019)
Кальцийфосфатные мишени для ВЧ магнетронного распыления биопокрытий; Иерархические материалы: разработка и приложения для новых технологий и надежных конструкций
Veröffentlicht: (2019)
Veröffentlicht: (2019)
Модифицирование PLLA скаффолдов методом DC магнетронного распыления титановой мишени в смеси рабочих газов; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
von: Марьин П. В. Павел Владимирович
Veröffentlicht: (2021)
von: Марьин П. В. Павел Владимирович
Veröffentlicht: (2021)
Коррозионные свойства хромовых покрытий: роль плазменного ассистирования при магнетронном распылении; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
von: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Veröffentlicht: (2022)
von: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Veröffentlicht: (2022)
Свойства тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного распыления; Материаловедение; № 9
von: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Veröffentlicht: (2016)
von: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Veröffentlicht: (2016)
Роль плазменного ассистирования при магнетронном распылении в формировании функциональных свойств хромовых покрытий; Современные проблемы машиностроения
von: Алкенова К. А.
Veröffentlicht: (2022)
von: Алкенова К. А.
Veröffentlicht: (2022)
Элементный и фазовый состав кальцийфосфатных мишеней для ВЧ-магнетронного распыления; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине (ФТПНПМ-2019)
Veröffentlicht: (2019)
Veröffentlicht: (2019)
Влияние электрических параметров магнетронной распылительной системы на структурные и защитные свойства хромовых покрытий; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
von: Ашихмин Д. А.
Veröffentlicht: (2024)
von: Ашихмин Д. А.
Veröffentlicht: (2024)
Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома; Современные проблемы машиностроения
von: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Veröffentlicht: (2020)
von: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Veröffentlicht: (2020)
Оптимизация требований к порошкам цинкзамещенного гидроксиапатита с целью обеспечения фазового состава мишеней для ВЧ магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
von: Болат-оол А. А.
Veröffentlicht: (2019)
von: Болат-оол А. А.
Veröffentlicht: (2019)
Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
von: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Veröffentlicht: (Томск, 2018)
von: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Veröffentlicht: (Томск, 2018)
Сильноточное магнетронное распыление Al мишени; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
von: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Veröffentlicht: (2018)
von: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Veröffentlicht: (2018)
Влияние магнетронного со-распыления титановой и медной мишеней на элементный состав поверхности скаффолдов из поликапролактона; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 2
von: Бадараев А. Д. Арсалан Доржиевич
Veröffentlicht: (2021)
von: Бадараев А. Д. Арсалан Доржиевич
Veröffentlicht: (2021)
Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
von: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Veröffentlicht: (Томск, 2018)
von: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Veröffentlicht: (Томск, 2018)
Покрытия, сформированные методом ВЧ-магнетронного распыления мишени из кремнийзамещенного гидроксиапатита; Современные техника и технологии; Т. 2
von: Сурменева М. А. Мария Александровна
Veröffentlicht: (2009)
von: Сурменева М. А. Мария Александровна
Veröffentlicht: (2009)
Осаждение сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий методом импульсного сильноточного реактивного магнетронного распыления; Журнал технической физики; Т. 86, вып. 2
Veröffentlicht: (2016)
Veröffentlicht: (2016)
Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
von: Рогожников Д. С.
Veröffentlicht: (2016)
von: Рогожников Д. С.
Veröffentlicht: (2016)
Магнетронное осаждение покрытий с испарением мишени; Журнал технической физики; Т. 85, вып. 12
von: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Veröffentlicht: (2015)
von: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Veröffentlicht: (2015)
Осаждение тонкопленочного люминесцентного покрытия состава Y3Al5O12:Ce методом магнетронного распыления; Современные проблемы машиностроения
von: Рунц А. А.
Veröffentlicht: (2022)
von: Рунц А. А.
Veröffentlicht: (2022)
Осаждение антифрикционных покрытий в плазме магнетронного разряда; Упрочняющие технологии и покрытия; № 4
Veröffentlicht: (2016)
Veröffentlicht: (2016)
Исследование влияния парциального давления на спектральный состав и процесс распыления реактивного магнетронного разряда плазмы при распылении мишени титана; Перспективы развития фундаментальных наук
von: Сунь Чжилэй
Veröffentlicht: (2014)
von: Сунь Чжилэй
Veröffentlicht: (2014)
Magnetron sputtering with hot solid target: thermal processes and erosion; Acta Polytechnica; Vol. 56, № 6
Veröffentlicht: (2016)
Veröffentlicht: (2016)
Электрический потенциал тонкого биоактивного покрытия на основе цинк-замещенного гидроксиапатита, полученного на титане методом ВЧ магнетронного распыления; Современные технологии и материалы новых поколений
von: Просолов К. А. Константин Александрович
Veröffentlicht: (2017)
von: Просолов К. А. Константин Александрович
Veröffentlicht: (2017)
Технология формирования мишени для ВЧ магнетронного распыления из биметаллических частиц CU-W; Инновационные технологии в машиностроении
von: Просолов К. А.
Veröffentlicht: (2022)
von: Просолов К. А.
Veröffentlicht: (2022)
Изменение микроструктуры и механических свойств защитных покрытий на основе Si-Al-N при легировании рением с помощью магнетронного распыления мишени ALSIRE в атмосфере азота и аргона; Современные проблемы машиностроения
von: Турсунханова Р. Рыскуль
Veröffentlicht: (2024)
von: Турсунханова Р. Рыскуль
Veröffentlicht: (2024)
Влияние плотности мощности на формирование покрытий карбида кремния при магнетронном распылении горячей мишени; Современные проблемы машиностроения
von: Фишер М. Э.
Veröffentlicht: (2025)
von: Фишер М. Э.
Veröffentlicht: (2025)
Deposition of the low resistive ITO-films by means of reactive magnetron sputtering of the In/Sn target on the cold substrate; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 135 : Issues of Physics and Technology in Science, Industry and Medicine
Veröffentlicht: (2016)
Veröffentlicht: (2016)
Морфология поверхности покрытий оксидов и/или оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
von: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
Veröffentlicht: (2014)
von: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
Veröffentlicht: (2014)
Растворение in vitro, структурные и электрокинетические характеристики оксинитридных покрытий титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 3
Veröffentlicht: (2016)
Veröffentlicht: (2016)
Структура и свойства прозрачных проводящих слоев на основе оксида цинка, полученных методом магнетронного распыления нестехиометричных мишеней: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; Спец. 01.04.07
von: Ахмедов А. К. Ахмед Кадиевич
Veröffentlicht: (Нальчик, [Б. и.], 2016)
von: Ахмедов А. К. Ахмед Кадиевич
Veröffentlicht: (Нальчик, [Б. и.], 2016)
Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
von: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Veröffentlicht: (2012)
von: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Veröffentlicht: (2012)
Влияние потока азота на свойства CrAlN покрытий, полученных магнетронным распылением с плазменным ассистированием; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
von: Осипова Е. С.
Veröffentlicht: (2023)
von: Осипова Е. С.
Veröffentlicht: (2023)
High-rate magnetron sputtering with hot target; Surface and Coatings Technology; Vol. 308 : The 43rd International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films
Veröffentlicht: (2016)
Veröffentlicht: (2016)
Кн. 1: Введение в физику и технику магнетронного распыления; Магнетронные распылительные системы
Veröffentlicht: (2008)
Veröffentlicht: (2008)
Структура и свойства покрытий системы Hf-Al-C, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Современные материалы и технологии новых поколений
von: Зелецов Д.
Veröffentlicht: (2019)
von: Зелецов Д.
Veröffentlicht: (2019)
Кремнийсодержащее кальций-фосфатное покрытие, сформированное методом ВЧ-магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
von: Сурменева М. А. Мария Александровна
Veröffentlicht: (2010)
von: Сурменева М. А. Мария Александровна
Veröffentlicht: (2010)
Исследование влияния отрицательного смещения подложки на параметры плазмы ВЧ-магнетронного распыления методом двойного зонда Ленгмюра; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
von: Мухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович
Veröffentlicht: (2014)
von: Мухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович
Veröffentlicht: (2014)
Calcium Phosphate Targets for RF Magnetron Sputtering of Biocoatings; AIP Conference Proceedings; Vol. 2167 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures 2019 (AMHS'19)
Veröffentlicht: (2019)
Veröffentlicht: (2019)
Остеогенный потенциал покрытий на основе гидроксиа-патита, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
von: Грибенников М. В.
Veröffentlicht: (2013)
von: Грибенников М. В.
Veröffentlicht: (2013)
Модифицирование биорезорбируемых полимерных кровеносных сосудов TISIN покрытиями методом дуального магнетронного распыления; Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения
von: Лаушкина А. А. Алина Алексеевна
Veröffentlicht: (2023)
von: Лаушкина А. А. Алина Алексеевна
Veröffentlicht: (2023)
Ähnliche Einträge
-
High-rate deposition of chromium coatings by magnetron sputtering; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Veröffentlicht: (2019) -
Кальцийфосфатные мишени для ВЧ магнетронного распыления биопокрытий; Иерархические материалы: разработка и приложения для новых технологий и надежных конструкций
Veröffentlicht: (2019) -
Модифицирование PLLA скаффолдов методом DC магнетронного распыления титановой мишени в смеси рабочих газов; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
von: Марьин П. В. Павел Владимирович
Veröffentlicht: (2021) -
Коррозионные свойства хромовых покрытий: роль плазменного ассистирования при магнетронном распылении; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
von: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Veröffentlicht: (2022) -
Свойства тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного распыления; Материаловедение; № 9
von: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Veröffentlicht: (2016)