Осаждение хромовых покрытий с помощью магнетронного распыления «горячей» мишени с ассистированием внешним плазменным источником

Осаждение хромовых покрытий с помощью магнетронного распыления «горячей» мишени с ассистированием внешним плазменным источником

Bibliographic Details
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2022 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2022 Т. 1 : Физика.— 2022.— [С. 35-37]
Main Author:	Бондарь А. А. Альберт Алексеевич
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Other Authors:	Грудинин В. А. Владислав Алексеевич (727), Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Summary:	Заглавие с экрана This work shows the possibility to tailor a hardness of 1 µm-thick Cr coatings obtained by high-rate deposition using magnetron sputtering with a "hot" target. For this purpose, an external plasma source was additionally applied to control the hardness of the Cr coatings in the range of 4 to 18 GPa.
Published:	2022
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ хромовые покрытия магнетронное распыление мишени плазменные источники плазма осаждение
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72943
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=634669

Internet

http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72943