Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом

Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом

Bibliographische Detailangaben
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2022 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2022 Т. 1 : Физика.— 2022.— С. 17-19
1. Verfasser:	Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
Körperschaft:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа химических и биомедицинских технологий
Weitere Verfasser:	Сурменев Р. А. Роман Анатольевич (727)
Zusammenfassung:	Заглавие с экрана In this work, we have simulated the magnetic field of a magnetron sputtering system in a flat target cathode with specified materials using the FEMM 4.2 program. The dependence of the magnetic field on the distance from the target is provided and discussed
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	2022
Schlagworte:	электронный ресурс труды учёных ТПУ математическое моделирование магнитные поля магнетронные распылительные системы эрозия магнитные ловушки катоды магнетроны
Online-Zugang:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72932
Format:	Elektronisch Buchkapitel
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=634668

Ähnliche Einträge

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий
von: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Veröffentlicht: (2020)

Магнетронная распылительная система с жидкофазным катодом
von: Николаев М. В.
Veröffentlicht: (2015)

Баланс энергии на катодном узле магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью
Veröffentlicht: (2014)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
von: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Veröffentlicht: (Томск, 2016)

Оптимизация магнитного поля дуального магнетрона
von: Шелепова М. А.
Veröffentlicht: (2009)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью
von: Рогожников Д. С.
Veröffentlicht: (2016)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target
Veröffentlicht: (2019)

Исследование эксплуатационных характеристик твердооксидных топливных элементов с YSZ/CGO электролитом
von: Ромбаева М. Р.
Veröffentlicht: (2016)

Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью
Veröffentlicht: (2018)

Магнетроны пер. с англ.
von: Фиск Д.
Veröffentlicht: (Москва, Советское радио, 1948)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
von: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Veröffentlicht: (Томск, 2016)

Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов
von: Жукова М. А.
Veröffentlicht: (2007)

Сравнительный анализ производительности и энергоэффективности получения металлических покрытий с использованием мощных импульсных ионных пучков и плазмы магнетронного разряда
von: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Veröffentlicht: (2012)

Экспериментальные исследования теплового состояния электромагнита магнетрона
von: Митюшкина В. Ю.
Veröffentlicht: (2000)

Неустойчивость разряда с накаленным катодом в магнитном поле при низких давлениях
von: Власов М. А.
Veröffentlicht: (Москва, 1964)

Дуальная магнетронная распылительная система
Veröffentlicht: ()

Сверхсильные магнитные поля
von: Карцев В. П. Владимир Петрович
Veröffentlicht: (Москва, Знание, 1967)

Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы
von: Тупикова О. С. Ольга Сергеевна
Veröffentlicht: (2011)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
von: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Veröffentlicht: (Томск, 2017)

Изучения свойств оксидных плёнок, полученных с помощью дуального магнетрона
von: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Veröffentlicht: (2009)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
von: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Veröffentlicht: (Томск, [Б. и.], 2016)

Effect of Magnetic Field Configuration of Dual Magnetron on Carbon Based Films Properties
Veröffentlicht: (2014)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
von: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Veröffentlicht: (Томск, 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
von: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Veröffentlicht: (Томск, [Б. и.], 2017)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
von: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Veröffentlicht: (Томск, [Б. и.], 2016)

Осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана с помощью дуальной МРС
von: Киселева Д. В.
Veröffentlicht: (2015)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
von: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Veröffentlicht: (Томск, [Б. и.], 2017)

Нанесение электрохромных покрытий методом магнетронного распыления
von: Шпакова Н. Ю.
Veröffentlicht: (2011)

Investigation of deposition efficiency increase mechanisms using pulsed magnetron sputteringsystems with hot target
Veröffentlicht: (2016)

Свойства магнетронного разряда на постоянном токе
Veröffentlicht: (2006)

Средства измерений параметров магнитного поля
Veröffentlicht: (Ленинград, Энергия, 1979)

Несбалансированная магнетронная распылительная система с электромагнитной катушкой
von: Шпакова Н. Ю.
Veröffentlicht: (2009)

Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы
von: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Veröffentlicht: (2015)

Эффект полого катода в газоразрядных системах со скрещенными электрическим и магнитным полями Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
von: Васильева Г. Г. Галина Гурьевна
Veröffentlicht: (Томск, 1974)

Компьютерное моделирование магнетрона с целью уменьшения воздействия "паразитных" магнитных полей
von: Ибрагимов Е. А. Егор Артурович
Veröffentlicht: (2008)

Angular thickness distribution and target utilization for hot Ni target magnetron sputtering
von: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Veröffentlicht: (2018)

Моделирование магнитной подсистемы планарного магнетрона
von: Зайцев Даниил Дмитриевич Д. Д.
Veröffentlicht: (2023)

PLLA scaffold modification using magnetron sputtering of the copper target to provide antibacterial properties
Veröffentlicht: (2017)

Hybrid biocomposites based on titania nanotubes and a hydroxyapatite coating deposited by RF-magnetron sputtering: Surface topography, structure, and mechanical properties
Veröffentlicht: (2017)

Исследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями
Veröffentlicht: (2020)