Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика

Bibliografske podrobnosti
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2022 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2022
Т. 1 : Физика.— 2022.— С. 17-19
Glavni avtor: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
Korporativna značnica: Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа химических и биомедицинских технологий
Drugi avtorji: Сурменев Р. А. Роман Анатольевич (научный руководитель)
Izvleček:Заглавие с экрана
In this work, we have simulated the magnetic field of a magnetron sputtering system in a flat target cathode with specified materials using the FEMM 4.2 program. The dependence of the magnetic field on the distance from the target is provided and discussed
Jezik:ruščina
Izdano: 2022
Teme:
Online dostop:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72932
Format: Elektronski Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=634668

Podobne knjige/članki