Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика

Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика

書誌詳細
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2022 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2022 Т. 1 : Физика.— 2022.— С. 17-19
第一著者:	Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
団体著者:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа химических и биомедицинских технологий
その他の著者:	Сурменев Р. А. Роман Анатольевич (научный руководитель)
要約:	Заглавие с экрана In this work, we have simulated the magnetic field of a magnetron sputtering system in a flat target cathode with specified materials using the FEMM 4.2 program. The dependence of the magnetic field on the distance from the target is provided and discussed
言語:	ロシア語
出版事項:	2022
主題:	электронный ресурс труды учёных ТПУ математическое моделирование магнитные поля магнетронные распылительные системы эрозия магнитные ловушки катоды магнетроны
オンライン･アクセス:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72932
フォーマット:	電子媒体図書の章
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=634668

類似資料

Баланс энергии на катодном узле магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 3 (3)
出版事項: (2014)

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий; Современные технологии, экономика и образование
著者:: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
出版事項: (2020)

Магнетронная распылительная система с жидкофазным катодом; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
著者:: Николаев М. В.
出版事項: (2015)

Оптимизация магнитного поля дуального магнетрона; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
著者:: Шелепова М. А.
出版事項: (2009)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
著者:: Рогожников Д. С.
出版事項: (2016)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
著者:: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
出版事項: (Томск, 2016)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
著者:: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
出版事項: (Томск, 2016)

Исследование эксплуатационных характеристик твердооксидных топливных элементов с YSZ/CGO электролитом; Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2016)
著者:: Ромбаева М. Р.
出版事項: (2016)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
出版事項: (2019)

Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
出版事項: (2018)

Сравнительный анализ производительности и энергоэффективности получения металлических покрытий с использованием мощных импульсных ионных пучков и плазмы магнетронного разряда; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 11 (2)
著者:: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
出版事項: (2012)

Магнетроны: пер. с англ.
著者:: Фиск Д.
出版事項: (Москва, Советское радио, 1948)

Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов; Современные техника и технологии; Т. 3
著者:: Жукова М. А.
出版事項: (2007)

Экспериментальные исследования теплового состояния электромагнита магнетрона; Современные техника и технологии
著者:: Митюшкина В. Ю.
出版事項: (2000)

Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы; Современные техника и технологии; Т. 3
著者:: Тупикова О. С. Ольга Сергеевна
出版事項: (2011)

Дуальная магнетронная распылительная система
出版事項: ()

Изучения свойств оксидных плёнок, полученных с помощью дуального магнетрона; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
著者:: Бумагина А. И. Анна Ивановна
出版事項: (2009)

Неустойчивость разряда с накаленным катодом в магнитном поле при низких давлениях
著者:: Власов М. А.
出版事項: (Москва, 1964)

Осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана с помощью дуальной МРС; Перспективы развития фундаментальных наук
著者:: Киселева Д. В.
出版事項: (2015)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
著者:: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
出版事項: (Томск, [Б. и.], 2016)

Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 4
著者:: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
出版事項: (2015)

Несбалансированная магнетронная распылительная система с электромагнитной катушкой; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
著者:: Шпакова Н. Ю.
出版事項: (2009)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
著者:: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
出版事項: (Томск, [Б. и.], 2016)

Адгезионные свойства серебросодержащих гидроксиапатитовых покрытий; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
著者:: Ткачев М. С.
出版事項: (2016)

Нанесение электрохромных покрытий методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
著者:: Шпакова Н. Ю.
出版事項: (2011)

Investigation of deposition efficiency increase mechanisms using pulsed magnetron sputteringsystems with hot target; Plasma Physics and Technology Journal; Vol. 3, № 1
出版事項: (2016)

Исследование влияния свойств тигля на интенсивность эмиссии атомов с поверхности жидкометаллической мишени МРС; Перспективы развития фундаментальных наук
著者:: Валдаева С. В.
出版事項: (2012)

Сверхсильные магнитные поля
著者:: Карцев В. П. Владимир Петрович
出版事項: (Москва, Знание, 1967)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
著者:: Юрьева А. В. Алена Викторовна
出版事項: (Томск, 2017)

Angular thickness distribution and target utilization for hot Ni target magnetron sputtering; Vacuum; Vol. 160
著者:: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
出版事項: (2018)

Определение равномерности толщины никелевых покрытий, нанесенных на циркониевые сплавы методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
著者:: Цяо Цзинвэнь
出版事項: (2017)

Оптимизация процессов распылительной сушки
著者:: Долинский А. А. Анатолий Андреевич
出版事項: (Киев, Наукова думка, 1984)

PLLA scaffold modification using magnetron sputtering of the copper target to provide antibacterial properties; Resource-Efficient Technologies; Vol. 3, iss. 2
出版事項: (2017)

Исследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине. Российский и международный опыт подготовки кадров
出版事項: (2020)

Hybrid biocomposites based on titania nanotubes and a hydroxyapatite coating deposited by RF-magnetron sputtering: Surface topography, structure, and mechanical properties; Applied Surface Science; Vol. 426
出版事項: (2017)

Моделирование магнитной подсистемы планарного магнетрона; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
著者:: Зайцев Даниил Дмитриевич Д. Д.
出版事項: (2023)

Влияние напряжения смещения на морфологию поверхности и структуру азотсодержащих тонких пленок диоксида титана; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
著者:: Иванова Н. М. Нина Михаиловна
出版事項: (2016)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
著者:: Юрьева А. В. Алена Викторовна
出版事項: (Томск, 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
著者:: Юрьева А. В. Алена Викторовна
出版事項: (Томск, [Б. и.], 2017)

Средства измерений параметров магнитного поля
出版事項: (Ленинград, Энергия, 1979)