Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом

Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом

Dades bibliogràfiques
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2022 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2022 Т. 1 : Физика.— 2022.— С. 17-19
Autor principal:	Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
Autor corporatiu:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа химических и биомедицинских технологий
Altres autors:	Сурменев Р. А. Роман Анатольевич (727)
Sumari:	Заглавие с экрана In this work, we have simulated the magnetic field of a magnetron sputtering system in a flat target cathode with specified materials using the FEMM 4.2 program. The dependence of the magnetic field on the distance from the target is provided and discussed
Publicat:	2022
Matèries:	электронный ресурс труды учёных ТПУ математическое моделирование магнитные поля магнетронные распылительные системы эрозия магнитные ловушки катоды магнетроны
Accés en línia:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72932
Format:	Electrònic Capítol de llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=634668

Internet

http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72932