Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2022 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2022 Т. 1 : Физика.— 2022.— С. 17-19 |
|---|---|
| Hovedforfatter: | |
| Institution som forfatter: | |
| Andre forfattere: | |
| Summary: | Заглавие с экрана In this work, we have simulated the magnetic field of a magnetron sputtering system in a flat target cathode with specified materials using the FEMM 4.2 program. The dependence of the magnetic field on the distance from the target is provided and discussed |
| Sprog: | russisk |
| Udgivet: |
2022
|
| Fag: | |
| Online adgang: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72932 |
| Format: | MixedMaterials Electronisk Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=634668 |
MARC
| LEADER | 00000naa2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 634668 | ||
| 005 | 20251013135715.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\conf\36486 | ||
| 035 | |a RU\TPU\conf\36482 | ||
| 090 | |a 634668 | ||
| 100 | |a 20220816d2022 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом |d Simulation of the magnetronic field of a magnetron sputtering system with a flat cathode |f В. Е. Анорин |g науч. рук. Р. А. Сурменев | |
| 203 | |a Текст |c электронный |b визуальный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 19 (4 назв.)] | ||
| 330 | |a In this work, we have simulated the magnetic field of a magnetron sputtering system in a flat target cathode with specified materials using the FEMM 4.2 program. The dependence of the magnetic field on the distance from the target is provided and discussed | ||
| 338 | |b Российский научный фонд |d 22-13-20043 | ||
| 461 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\conf\36478 |t Перспективы развития фундаментальных наук |l Prospects of Fundamental Sciences Development |o сборник научных трудов XIX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2022 г. |o в 7 т. |f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой |d 2022 | |
| 463 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\conf\36479 |t Т. 1 : Физика |v С. 17-19 |d 2022 | |
| 510 | 1 | |a Simulation of the magnetronic field of a magnetron sputtering system with a flat cathode |z eng | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a математическое моделирование | |
| 610 | 1 | |a магнитные поля | |
| 610 | 1 | |a магнетронные распылительные системы | |
| 610 | 1 | |a эрозия | |
| 610 | 1 | |a магнитные ловушки | |
| 610 | 1 | |a катоды | |
| 610 | 1 | |a магнетроны | |
| 700 | 1 | |a Анорин |b В. Е. |g Виталий Евгеньевич |f 2003- |c физик |c ассистент, инженер-исследователь Томского политехнического университета |9 88693 | |
| 702 | 1 | |a Сурменев |b Р. А. |c физик |c старший научный сотрудник Томского политехнического университета, доцент, кандидат физико-математических наук |f 1982- |g Роман Анатольевич |4 727 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |b Исследовательская школа химических и биомедицинских технологий |c (2017- ) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\23537 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20220908 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72932 |z http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72932 | |
| 942 | |c CF | ||