Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич & Сурменев Р. А. Роман Анатольевич. (2022). Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом. 2022.
Dyfyniad Arddull ChicagoАнорин В. Е. Виталий Евгеньевич and Сурменев Р. А. Роман Анатольевич. Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом. 2022, 2022.
Dyfyniad MLAАнорин В. Е. Виталий Евгеньевич and Сурменев Р. А. Роман Анатольевич. Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом. 2022, 2022.
Rhybudd: Mae'n bosib nad yw'r dyfyniadau hyn bob amser yn 100% cywir.