|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
633932 |
| 005 |
20240209123753.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\conf\35682
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\conf\35681
|
| 090 |
|
|
|a 633932
|
| 100 |
|
|
|a 20211206a2021 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 100zy
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий
|f В. А. Грудинин, А. А. Рунц, Г. А. Блейхер
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 225 |
1 |
|
|a Материаловедение и нанотехнологии в машиностроении
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с экрана
|
| 320 |
|
|
|a [Библиогр.: с. 134 (3 назв.)]
|
| 338 |
|
|
|b Российский фонд фундаментальных исследований
|d 20-38-90134
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\conf\35640
|t Современные проблемы машиностроения
|o сборник трудов XIV Международной научно-технической конференции, г. Томск, 25-30 октября 2021 г.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. Е. Н. Пашкова
|v [С. 133-134]
|d 2021
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a плотность
|
| 610 |
1 |
|
|a мощность
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронные диоды
|
| 610 |
1 |
|
|a скорость
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a фазовый состав
|
| 610 |
1 |
|
|a покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a реактивное магнетронное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронные распылительные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a нитрид хрома
|
| 700 |
|
1 |
|a Грудинин
|b В. А.
|c физик
|c инженер Томского политехнического университета
|f 1995-
|g Владислав Алексеевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\42339
|9 21518
|
| 701 |
|
1 |
|a Рунц
|b А. А.
|
| 701 |
|
1 |
|a Блейхер
|b Г. А.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1961-
|g Галина Алексеевна
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28948
|9 13681
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет
|b Инженерная школа ядерных технологий
|b Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\23561
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20211210
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/69152
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
