Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий

Bibliographic Details
Parent link:	Современные проблемы машиностроения: сборник трудов XIV Международной научно-технической конференции, г. Томск, 25-30 октября 2021 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. Е. Н. Пашкова. [С. 133-134].— , 2021
Main Author:	Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Other Authors:	Рунц А. А., Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Summary:	Заглавие с экрана
Published:	2021
Series:	Материаловедение и нанотехнологии в машиностроении
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ плотность мощность магнетронные диоды скорость осаждение фазовый состав покрытия реактивное магнетронное распыление магнетронные распылительные системы нитрид хрома
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/69152
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=633932

Internet

http://earchive.tpu.ru/handle/11683/69152