Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий; Современные проблемы машиностроения

Bibliographic Details
Parent link:	Современные проблемы машиностроения.— 2021.— [С. 133-134]
Main Author:	Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Other Authors:	Рунц А. А., Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Summary:	Заглавие с экрана
Language:	Russian
Published:	2021
Series:	Материаловедение и нанотехнологии в машиностроении
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ плотность мощность магнетронные диоды скорость осаждение фазовый состав покрытия реактивное магнетронное распыление магнетронные распылительные системы нитрид хрома
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/69152
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=633932

Description
Summary:	Заглавие с экрана

Similar Items