Защитные покрытия ZrYO/AlSiN

Защитные покрытия ZrYO/AlSiN

Bibliographic Details
Parent link:	Научная инициатива иностранных студентов и аспирантов: сборник докладовI Международной научно-практической конференции, Томск, 27-29 апреля 2021 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет, Школа базовой инженерной подготовки.— , 2021 Т. 1.— 2021.— [С. 89-92]
Main Author:	Ван Синьсинь
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа новых производственных технологий Отделение материаловедения
Other Authors:	У Шаша (727), Божко И. А. Ирина Александровна
Summary:	Заглавие с титульного экрана
Published:	2021
Series:	Актуальные проблемы инженерных наук
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс защитные покрытия оптические свойства механические свойства импульсное магнетронное распыление монокристаллы кремний
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/67812
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=633038

Internet

http://earchive.tpu.ru/handle/11683/67812