Травление углеродных покрытий в плазме водорода

Травление углеродных покрытий в плазме водорода

Bibliographic Details
Parent link:	Водород. Технологии. Будущее: сборник тезисов докладов Всероссийской научно-практической конференции, г. Томск, 23-24 декабря 2020 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. М. С. Юсубова, А. М. Лидера, А. С. Боева. [С. 51].— , 2021
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Other Authors:	Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович, Ручкин С. Е. Сергей Евгеньевич, Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич, Уханов С. И.
Summary:	Заглавие с экрана
Language:	Russian
Published:	2021
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ углеродные покрытия плазма водород напыление магнетронные распылительные системы ионное травление
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64961
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=632714

Similar Items

Травление углеродных покрытий в аргон-водородной плазме высокочастотного разряда
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (2020)

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий
by: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Published: (2020)

Нанесение электрохромных покрытий методом магнетронного распыления
by: Шпакова Н. Ю.
Published: (2011)

Микротекстура поверхности покрытий оксинитридов титана, осажденных методов реактивного магнетронного распыления
by: Мазурик Е. А.
Published: (2014)

Aluminum films deposition by magnetron sputtering systems: Influence of target state and pulsing unit
Published: (2016)

Моделирование магнитной подсистемы планарного магнетрона
by: Зайцев Даниил Дмитриевич Д. Д.
Published: (2023)

The formation of stable hydrogen impermeable TiN-based coatings on zirconium alloy Zr1%Nb
Published: (2015)

Изучение скорости растворения покрытий TiON в модельных биологических жидкостях
by: Ефимова Е. В.
Published: (2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью
by: Рогожников Д. С.
Published: (2016)

Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью
Published: (2018)

Ионное травление микроструктур
by: Данилин Б. С. Борис Степанович
Published: (Москва, Радио, 1979)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий
by: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Published: (2021)

Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов
by: Жукова М. А.
Published: (2007)

Определение равномерности толщины никелевых покрытий, нанесенных на циркониевые сплавы методом магнетронного распыления
by: Цяо Цзинвэнь
Published: (2017)

Электропроводящие антифрикционные покрытия на основе системы CU-MO-S
Published: (2016)

Магнетронная распылительная система с жидкофазным катодом
by: Николаев М. В.
Published: (2015)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Published: (Томск, 2016)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (Томск, 2018)

Исследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями
Published: (2020)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (Томск, [Б. и.], 2018)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Published: (Томск, 2016)

Плазменные покрытия (методы и оборудование) учебное пособие
by: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Published: (Томск, Изд-во ТПУ, 2008)

Низкоэмиссионные и терморегулирующие покрытия на основе тонких слоев серебра
Published: (2012)

Плазменная технология осаждения отражающего покрытия на поверхность углепластика
Published: (2011)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (Томск, [Б. и.], 2018)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, 2017)

Покрытия на основе оксинитридов титана, осажденные методом реактивного магнетронного распыления: морфология поверхности и химический состав
by: Иванова Н. М.
Published: (2014)

Адгезионные свойства серебросодержащих гидроксиапатитовых покрытий
by: Ткачев М. С.
Published: (2016)

Кн. 1: Введение в физику и технику магнетронного распыления
Published: (2008)

Научные и технологические принципы нанесения покрытий методами физического и химического осаждения : методы получения и исследования покрытий практикум
by: Кирюханцев-Корнеев Ф. В.
Published: (Москва, МИСИС, 2015)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target
Published: (2019)

Магнетронный диод на парах металлов
by: Жуков В. В.
Published: (2002)

Устройство дугогашения для мощных магнетронных распылительных систем
by: Арсланов И. Р.
Published: (2002)

Осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана с помощью дуальной МРС
by: Киселева Д. В.
Published: (2015)

The role of thermal processes and target evaporation in formation of self-sputtering mode for copper magnetron sputtering
Published: (2018)

Investigation of deposition efficiency increase mechanisms using pulsed magnetron sputteringsystems with hot target
Published: (2016)

Система управления установкой для напыления покрытий в плазме газового разряда
by: Беграмбеков Л. Б.
Published: (2004)

Research of reactive ion and plasma-chemical etching effect on diamond coating surface morphology
by: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Published: (2016)

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
by: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Published: (Москва, Радио и связь, 1983)

Angular thickness distribution and target utilization for hot Ni target magnetron sputtering
by: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Published: (2018)