Травление углеродных покрытий в плазме водорода; Водород. Технологии. Будущее

Травление углеродных покрытий в плазме водорода; Водород. Технологии. Будущее

Bibliographische Detailangaben
Parent link:	Водород. Технологии. Будущее.— 2021.— [С. 51]
Körperschaft:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Weitere Verfasser:	Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович, Ручкин С. Е. Сергей Евгеньевич, Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич, Уханов С. И.
Zusammenfassung:	Заглавие с экрана
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	2021
Schlagworte:	электронный ресурс труды учёных ТПУ углеродные покрытия плазма водород напыление магнетронные распылительные системы ионное травление
Online-Zugang:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64961
Format:	Elektronisch Buchkapitel
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=632714

Ähnliche Einträge

Травление углеродных покрытий в аргон-водородной плазме высокочастотного разряда; Современные проблемы машиностроения
von: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Veröffentlicht: (2020)

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий; Современные технологии, экономика и образование
von: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Veröffentlicht: (2020)

Нанесение электрохромных покрытий методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
von: Шпакова Н. Ю.
Veröffentlicht: (2011)

Ионное травление микроструктур
von: Данилин Б. С. Борис Степанович
Veröffentlicht: (Москва, Радио, 1979)

Микротекстура поверхности покрытий оксинитридов титана, осажденных методов реактивного магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 3
von: Мазурик Е. А.
Veröffentlicht: (2014)

The formation of stable hydrogen impermeable TiN-based coatings on zirconium alloy Zr1%Nb; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 81 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials
Veröffentlicht: (2015)

Aluminum films deposition by magnetron sputtering systems: Influence of target state and pulsing unit; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 741 : Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures (Saint Petersburg OPEN 2016)
Veröffentlicht: (2016)

Моделирование магнитной подсистемы планарного магнетрона; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
von: Зайцев Даниил Дмитриевич Д. Д.
Veröffentlicht: (2023)

Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов; Современные техника и технологии; Т. 3
von: Жукова М. А.
Veröffentlicht: (2007)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
von: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Veröffentlicht: (Томск, [Б. и.], 2018)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий; Современные проблемы машиностроения
von: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Veröffentlicht: (2021)

Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
Veröffentlicht: (2018)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
von: Рогожников Д. С.
Veröffentlicht: (2016)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
von: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Veröffentlicht: (Томск, [Б. и.], 2018)

Электропроводящие антифрикционные покрытия на основе системы CU-MO-S; Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций
Veröffentlicht: (2016)

Изучение скорости растворения покрытий TiON в модельных биологических жидкостях; Химия и химическая технология в XXI веке
von: Ефимова Е. В.
Veröffentlicht: (2017)

Научные и технологические принципы нанесения покрытий методами физического и химического осаждения : методы получения и исследования покрытий практикум
von: Кирюханцев-Корнеев Ф. В.
Veröffentlicht: (Москва, МИСИС, 2015)

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
von: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Veröffentlicht: (Москва, Радио и связь, 1983)

Определение равномерности толщины никелевых покрытий, нанесенных на циркониевые сплавы методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
von: Цяо Цзинвэнь
Veröffentlicht: (2017)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
von: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Veröffentlicht: (Томск, 2016)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
von: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Veröffentlicht: (Томск, 2018)

Плазменные покрытия (методы и оборудование): учебное пособие
von: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Veröffentlicht: (Томск, Изд-во ТПУ, 2008)

Кн. 1: Введение в физику и технику магнетронного распыления; Магнетронные распылительные системы
Veröffentlicht: (2008)

Магнетронная распылительная система с жидкофазным катодом; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
von: Николаев М. В.
Veröffentlicht: (2015)

Исследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине. Российский и международный опыт подготовки кадров
Veröffentlicht: (2020)

Магнетронный диод на парах металлов; Современные техника и технологии - СТТ' 2002; Т. 1
von: Жуков В. В.
Veröffentlicht: (2002)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
von: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Veröffentlicht: (Томск, 2016)

Низкоэмиссионные и терморегулирующие покрытия на основе тонких слоев серебра; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 11/2
Veröffentlicht: (2012)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
von: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Veröffentlicht: (Томск, 2017)

Плазменная технология осаждения отражающего покрытия на поверхность углепластика; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 11/2
Veröffentlicht: (2011)

Устройство дугогашения для мощных магнетронных распылительных систем; Современные техника и технологии - СТТ' 2002; Т. 1
von: Арсланов И. Р.
Veröffentlicht: (2002)

Покрытия на основе оксинитридов титана, осажденные методом реактивного магнетронного распыления: морфология поверхности и химический состав; Современные техника и технологии; Т. 3
von: Иванова Н. М.
Veröffentlicht: (2014)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Veröffentlicht: (2019)

Система управления установкой для напыления покрытий в плазме газового разряда; Приборы и техника эксперимента; № 6
von: Беграмбеков Л. Б.
Veröffentlicht: (2004)

Research of reactive ion and plasma-chemical etching effect on diamond coating surface morphology; AIP Conference Proceedings; Vol. 1772 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2016)
von: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Veröffentlicht: (2016)

Полирование, травление и обезжиривание металлов
von: Грилихес С. Я. Семен Яковлевич
Veröffentlicht: (Ленинград, Машиностроение, 1971)

Адгезионные свойства серебросодержащих гидроксиапатитовых покрытий; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
von: Ткачев М. С.
Veröffentlicht: (2016)

The role of thermal processes and target evaporation in formation of self-sputtering mode for copper magnetron sputtering; Vacuum; Vol. 152
Veröffentlicht: (2018)

Исследование реактивно распыленных диэлектрических пленок в МДП-структурах: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
von: Шандра З. А.
Veröffentlicht: (Томск, [Б. и.], 1972)

Осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана с помощью дуальной МРС; Перспективы развития фундаментальных наук
von: Киселева Д. В.
Veröffentlicht: (2015)