Травление углеродных покрытий в плазме водорода

Bibliographic Details
Parent link:	Водород. Технологии. Будущее.— 2021.— [С. 51]
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Other Authors:	Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович, Ручкин С. Е. Сергей Евгеньевич, Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич, Уханов С. И.
Summary:	Заглавие с экрана
Language:	Russian
Published:	2021
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ углеродные покрытия плазма водород напыление магнетронные распылительные системы ионное травление
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64961
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=632714

Internet