Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома; Современные проблемы машиностроения

Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома; Современные проблемы машиностроения

Bibliografiske detaljer
Parent link:	Современные проблемы машиностроения.— 2020.— [С. 159-160]
Hovedforfatter:	Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Institution som forfatter:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Andre forfattere:	Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович, Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Summary:	Заглавие с экрана
Sprog:	russisk
Udgivet:	2020
Serier:	Материаловедение и нанотехнологии в машиностроении
Fag:	электронный ресурс труды учёных ТПУ высокоскоростное осаждение магнетронное осаждение покрытия нитрид хрома магнетронное распыление работоспособность мишени плазма реактивные газы
Online adgang:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64041
Format:	Electronisk Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=632462

Lignende værker

Сильноточное магнетронное распыление Al мишени; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
af: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Udgivet: (2018)

High-rate deposition of chromium coatings by magnetron sputtering; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Udgivet: (2019)

Особенности формирования механических характеристик покрытий из нитрида хрома при магнетронном распылении с горячей мишенью; Современные проблемы машиностроения
af: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Udgivet: (2022)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий; Современные проблемы машиностроения
af: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Udgivet: (2021)

Магнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
af: Михневич К. С.
Udgivet: (2015)

Магнетронное осаждение покрытий с испарением мишени; Журнал технической физики; Т. 85, вып. 12
af: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Udgivet: (2015)

Осаждение хромовых покрытий с помощью магнетронного распыления «горячей» мишени с ассистированием внешним плазменным источником; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
af: Бондарь А. А. Альберт Алексеевич
Udgivet: (2022)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
af: Рогожников Д. С.
Udgivet: (2016)

Hot target magnetron sputtering enhanced by RF-ICP source for CrNx coatings deposition; Vacuum; Vol. 191
Udgivet: (2021)

Магнетронное осаждение просветляющих слоев в низкоэмиссионном покрытии типа TiO₂-Cu-TiO₂; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 11/3
Udgivet: (2013)

Magnetron sputtering with hot solid target: thermal processes and erosion; Acta Polytechnica; Vol. 56, № 6
Udgivet: (2016)

Импульсное магнетронное осаждение покрытий на основе системы Cu-Mo-S; Высокие технологии в современной науке и технике
Udgivet: (2015)

Осаждение сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий методом импульсного сильноточного реактивного магнетронного распыления; Журнал технической физики; Т. 86, вып. 2
Udgivet: (2016)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
af: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Udgivet: (Томск, 2018)

Deposition of the low resistive ITO-films by means of reactive magnetron sputtering of the In/Sn target on the cold substrate; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 135 : Issues of Physics and Technology in Science, Industry and Medicine
Udgivet: (2016)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
af: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Udgivet: (Томск, 2018)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Udgivet: (2019)

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
af: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Udgivet: (Томск, 2022)

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
af: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2022)

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
af: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Udgivet: (Томск, 2022)

Nickel and Chromium Deposition by Hot Target Magnetron Sputtering; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Udgivet: (2019)

Осаждение плёнок оксида меди при магнетронном распылении в металлическом режиме; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
af: Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна
Udgivet: (2022)

Deposition of calcium phosphate coatings using radio frequency magnetron sputtering of substituted β-tricalcium phosphate targets; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 1115 : 6th International Congress "Energy Fluxes and Radiation Effects". 14th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows (14th CMM)
Udgivet: (2018)

Влияние параметров осаждения на свойства покрытий TiN, наносимых методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
af: Шпакова Н. Ю.
Udgivet: (2009)

Осаждение тонкопленочного люминесцентного покрытия состава Y3Al5O12:Ce методом магнетронного распыления; Современные проблемы машиностроения
af: Рунц А. А. Артем Алексеевич
Udgivet: (2022)

Разработка твердооксидных топливных элементов в Томском политехническом университете; Водород. Технологии. Будущее
af: Соловьёв А. А. Андрей Александрович
Udgivet: (2021)

Оптимизация толщины водородонепроницаемых покрытий на основе нитрида титана; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
af: Фу Сияо
Udgivet: (2017)

Multilayer chromium nitride/carbon coatings deposited by magnetron sputtering; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
af: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Udgivet: (2019)

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий; Современные технологии, экономика и образование
af: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Udgivet: (2020)

Ntibacterial potential of Zn- and Cu- substituted hydroxyapatite coatings deposited by RF-magnetron sputtering: structure and properties; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Udgivet: (2019)

Features of copper coatings growth at high-rate deposition using magnetron sputtering systems with a liquid metal target; Surface and Coatings Technology; Vol. 324
Udgivet: (2017)

Получение нанокомпозитных покрытий на основе системы Ti-Al-Si-N с помощью двух магнетронов; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 315, № 2: Математика и механика. Физика
Udgivet: (2009)

Исследование структуры и механических свойств покрытий на основе Zr-Y-O при импульсном магнетронном осаждении на подложках оптического стекла К208; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
Udgivet: (2018)

Analysis of Magnetron-Deposited Titanium Oxynitride Coatings by Scanning Electron Microscopy and Raman Scattering; Advanced Materials Research : Radiation and nuclear techniques in material science; Vol. 1084 : Physical-Technical Problems of Nuclear Science, Energy Generation, and Power Industry (PTPAI -2014)
Udgivet: (2015)

Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана; Современные техника и технологии; Т. 3
af: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Udgivet: (2010)

Влияние параметров источника питания магнетрона на свойства плёнок нитрида кремния; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
af: Петраков Ю. В.
Udgivet: (2017)

Обнаружение NO в биосовместимых оксинитридных покрытиях титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 1
af: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Udgivet: (2015)

Effect of Glancing Angle Deposition to the Morphology of Calcium Phosphate Thin Coatings; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Udgivet: (2019)

Модифицирование PLLA скаффолдов методом DC магнетронного распыления титановой мишени в смеси рабочих газов; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
af: Марьин П. В. Павел Владимирович
Udgivet: (2021)

Реактивное осаждение пленок Al(2)O(3) с помощью дуальной МРС; Современные техника и технологии; Т. 3
af: Азина М. А.
Udgivet: (2011)