Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома

Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома

מידע ביבליוגרפי
Parent link:	Современные проблемы машиностроения: сборник трудов XIII Международной научно-технической конференции, г. Томск, 26-30 октября 2020 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. Е. Н. Пашкова. [С. 159-160].— , 2020
מחבר ראשי:	Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
מחבר תאגידי:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
מחברים אחרים:	Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович, Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
סיכום:	Заглавие с экрана
שפה:	רוסית
יצא לאור:	2020
סדרה:	Материаловедение и нанотехнологии в машиностроении
נושאים:	электронный ресурс труды учёных ТПУ высокоскоростное осаждение магнетронное осаждение покрытия нитрид хрома магнетронное распыление работоспособность мишени плазма реактивные газы
גישה מקוונת:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64041
פורמט:	אלקטרוני Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=632462

פריטים דומים

Сильноточное магнетронное распыление Al мишени
מאת: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
יצא לאור: (2018)

Магнетронное осаждение покрытий с испарением мишени
מאת: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
יצא לאור: (2015)

High-rate deposition of chromium coatings by magnetron sputtering
יצא לאור: (2019)

Осаждение хромовых покрытий с помощью магнетронного распыления «горячей» мишени с ассистированием внешним плазменным источником
מאת: Бондарь А. А. Альберт Алексеевич
יצא לאור: (2022)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий
מאת: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
יצא לאור: (2021)

Особенности формирования механических характеристик покрытий из нитрида хрома при магнетронном распылении с горячей мишенью
מאת: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
יצא לאור: (2022)

Магнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана
מאת: Михневич К. С.
יצא לאור: (2015)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью
מאת: Рогожников Д. С.
יצא לאור: (2016)

Импульсное магнетронное осаждение покрытий на основе системы Cu-Mo-S
יצא לאור: (2015)

Hot target magnetron sputtering enhanced by RF-ICP source for CrNx coatings deposition
יצא לאור: (2021)

Магнетронное осаждение просветляющих слоев в низкоэмиссионном покрытии типа TiO₂-Cu-TiO₂
יצא לאור: (2013)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
מאת: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
יצא לאור: (Томск, 2018)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
מאת: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
יצא לאור: (Томск, 2018)

Magnetron sputtering with hot solid target: thermal processes and erosion
יצא לאור: (2016)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target
יצא לאור: (2019)

Осаждение сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий методом импульсного сильноточного реактивного магнетронного распыления
יצא לאור: (2016)

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
מאת: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
יצא לאור: (Томск, [Б. и.], 2022)

Nickel and Chromium Deposition by Hot Target Magnetron Sputtering
יצא לאור: (2019)

Deposition of the low resistive ITO-films by means of reactive magnetron sputtering of the In/Sn target on the cold substrate
יצא לאור: (2016)

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
מאת: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
יצא לאור: (Томск, 2022)

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
מאת: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
יצא לאור: (Томск, 2022)

Deposition of calcium phosphate coatings using radio frequency magnetron sputtering of substituted β-tricalcium phosphate targets
יצא לאור: (2018)

Влияние параметров осаждения на свойства покрытий TiN, наносимых методом магнетронного распыления
מאת: Шпакова Н. Ю.
יצא לאור: (2009)

Осаждение тонкопленочного люминесцентного покрытия состава Y3Al5O12:Ce методом магнетронного распыления
מאת: Рунц А. А.
יצא לאור: (2022)

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий
מאת: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
יצא לאור: (2020)

Получение нанокомпозитных покрытий на основе системы Ti-Al-Si-N с помощью двух магнетронов
יצא לאור: (2009)

Multilayer chromium nitride/carbon coatings deposited by magnetron sputtering
מאת: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
יצא לאור: (2019)

Features of copper coatings growth at high-rate deposition using magnetron sputtering systems with a liquid metal target
יצא לאור: (2017)

Ntibacterial potential of Zn- and Cu- substituted hydroxyapatite coatings deposited by RF-magnetron sputtering: structure and properties
יצא לאור: (2019)

Обнаружение NO в биосовместимых оксинитридных покрытиях титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления
מאת: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
יצא לאור: (2015)

Инженерия поверхностей металлов и сплавов с использованием многокомпонентных плазменных потоков и ионно-ассистированного осаждения
מאת: Белый А. В.
יצא לאור: (Минск, Белорусская наука, 2024)

Analysis of Magnetron-Deposited Titanium Oxynitride Coatings by Scanning Electron Microscopy and Raman Scattering
יצא לאור: (2015)

Исследование структуры и механических свойств покрытий на основе Zr-Y-O при импульсном магнетронном осаждении на подложках оптического стекла К208
יצא לאור: (2018)

Effect of Glancing Angle Deposition to the Morphology of Calcium Phosphate Thin Coatings
יצא לאור: (2019)

Осаждение плёнок оксида меди при магнетронном распылении в металлическом режиме
מאת: Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна
יצא לאור: (2022)

Магнетронное распыление как один из методов нанесения покрытий
מאת: Майер Д. Н.
יצא לאור: (2012)

Оптические свойства пленок азотосодержащего оксида титана, осажденных магнетронным распылением
מאת: Сунь Чжилэй
יצא לאור: (2019)

The role of electrophoretic deposition method in the creation of a biocomposit based on hydroxyapatite layers and silver nanoparticles
מאת: Sharonova A. A. Anna Aleksandrovna
יצא לאור: (2018)

Разработка твердооксидных топливных элементов в Томском политехническом университете
מאת: Соловьёв А. А. Андрей Александрович
יצא לאור: (2021)

Оптимизация толщины водородонепроницаемых покрытий на основе нитрида титана
מאת: Фу Сияо
יצא לאור: (2017)