Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома

Dades bibliogràfiques
Parent link:	Современные проблемы машиностроения.— 2020.— [С. 159-160]
Autor principal:	Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Autor corporatiu:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Altres autors:	Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович, Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Sumari:	Заглавие с экрана
Idioma:	rus
Publicat:	2020
Col·lecció:	Материаловедение и нанотехнологии в машиностроении
Matèries:	электронный ресурс труды учёных ТПУ высокоскоростное осаждение магнетронное осаждение покрытия нитрид хрома магнетронное распыление работоспособность мишени плазма реактивные газы
Accés en línia:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64041
Format:	Electrònic Capítol de llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=632462

Internet