Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома; Современные проблемы машиностроения

Bibliographic Details
Parent link:	Современные проблемы машиностроения.— 2020.— [С. 159-160]
Main Author:	Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Other Authors:	Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович, Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Summary:	Заглавие с экрана
Language:	Russian
Published:	2020
Series:	Материаловедение и нанотехнологии в машиностроении
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ высокоскоростное осаждение магнетронное осаждение покрытия нитрид хрома магнетронное распыление работоспособность мишени плазма реактивные газы
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64041
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=632462

Internet