Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома; Современные проблемы машиностроения

Dettagli Bibliografici
Parent link:	Современные проблемы машиностроения.— 2020.— [С. 159-160]
Autore principale:	Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Ente Autore:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Altri autori:	Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович, Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Riassunto:	Заглавие с экрана
Lingua:	russo
Pubblicazione:	2020
Serie:	Материаловедение и нанотехнологии в машиностроении
Soggetti:	электронный ресурс труды учёных ТПУ высокоскоростное осаждение магнетронное осаждение покрытия нитрид хрома магнетронное распыление работоспособность мишени плазма реактивные газы
Accesso online:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64041
Natura:	Elettronico Capitolo di libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=632462

Accesso online