Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома; Современные проблемы машиностроения

書誌詳細
Parent link:	Современные проблемы машиностроения.— 2020.— [С. 159-160]
第一著者:	Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
団体著者:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
その他の著者:	Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович, Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
要約:	Заглавие с экрана
言語:	ロシア語
出版事項:	2020
シリーズ:	Материаловедение и нанотехнологии в машиностроении
主題:	электронный ресурс труды учёных ТПУ высокоскоростное осаждение магнетронное осаждение покрытия нитрид хрома магнетронное распыление работоспособность мишени плазма реактивные газы
オンライン･アクセス:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64041
フォーマット:	電子媒体図書の章
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=632462

インターネット