|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
632462 |
| 005 |
20260209150814.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\conf\34170
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\conf\34169
|
| 090 |
|
|
|a 632462
|
| 100 |
|
|
|a 20201203a2020 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 100zy
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома
|f В. А. Грудинин, Д. В. Сиделёв, Г. А. Блейхер
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 225 |
1 |
|
|a Материаловедение и нанотехнологии в машиностроении
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с экрана
|
| 320 |
|
|
|a [Библиогр.: с. 160 (2 назв.)]
|
| 338 |
|
|
|b Российский фонд фундаментальных исследований
|d 20-38-90134
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\conf\34136
|t Современные проблемы машиностроения
|o сборник трудов XIII Международной научно-технической конференции, г. Томск, 26-30 октября 2020 г.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. Е. Н. Пашкова
|v [С. 159-160]
|d 2020
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a высокоскоростное осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронное осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a нитрид хрома
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a работоспособность
|
| 610 |
1 |
|
|a мишени
|
| 610 |
1 |
|
|a плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a реактивные газы
|
| 700 |
|
1 |
|a Грудинин
|b В. А.
|c физик
|c инженер Томского политехнического университета
|f 1995-
|g Владислав Алексеевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\42339
|9 21518
|
| 701 |
|
1 |
|a Сиделёв
|b Д. В.
|c физик
|c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук
|f 1991-
|g Дмитрий Владимирович
|y Томск
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34510
|9 17891
|
| 701 |
|
1 |
|a Блейхер
|b Г. А.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1961-
|g Галина Алексеевна
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28948
|9 13681
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет
|b Инженерная школа ядерных технологий
|b Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\23561
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20201210
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64041
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
