Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома

Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома

Podrobná bibliografie
Parent link:Современные проблемы машиностроения: сборник трудов XIII Международной научно-технической конференции, г. Томск, 26-30 октября 2020 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. Е. Н. Пашкова. [С. 159-160].— , 2020
Hlavní autor: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Korporativní autor: Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Další autoři: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович, Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Shrnutí:Заглавие с экрана
Jazyk:ruština
Vydáno: 2020
Edice:Материаловедение и нанотехнологии в машиностроении
Témata:
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
высокоскоростное осаждение
магнетронное осаждение
покрытия
нитрид хрома
магнетронное распыление
работоспособность
мишени
плазма
реактивные газы
On-line přístup:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64041
Médium: Elektronický zdroj Kapitola
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=632462
Popis
Shrnutí:Заглавие с экрана

Podobné jednotky