Коррекция профилей распределения интенсивности элементов с учетом неравномерности распыления оптического эмиссионного спектрометра тлеющего разряда для анализа многослойных покрытий; Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения

Detalles Bibliográficos
Parent link:	Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения.— 2020.— [С. 51-52]
Autor principal:	Ломыгин А. Д. Антон Дмитриевич
Autor Corporativo:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Отделение экспериментальной физики
Otros Autores:	Лаптев Р. С. Роман Сергеевич, Шулепов И. А. Иван Анисимович
Sumario:	Заглавие с экрана
Lenguaje:	ruso
Publicado:	2020
Colección:	Проблемы надежности материалов
Materias:	электронный ресурс труды учёных ТПУ коррекция профили интенсивность распыление неравномерность оптический спектрометр тлеющие разряды многослойные покрытия магнетронное распыление элементы эрозия
Acceso en línea:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63824
Formato:	Electrónico Capítulo de libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=632290

Internet