Коррекция профилей распределения интенсивности элементов с учетом неравномерности распыления оптического эмиссионного спектрометра тлеющего разряда для анализа многослойных покрытий; Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения

Bibliographic Details
Parent link:	Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения.— 2020.— [С. 51-52]
Main Author:	Ломыгин А. Д. Антон Дмитриевич
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Отделение экспериментальной физики
Other Authors:	Лаптев Р. С. Роман Сергеевич, Шулепов И. А. Иван Анисимович
Summary:	Заглавие с экрана
Language:	Russian
Published:	2020
Series:	Проблемы надежности материалов
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ коррекция профили интенсивность распыление неравномерность оптический спектрометр тлеющие разряды многослойные покрытия магнетронное распыление элементы эрозия
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63824
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=632290

Internet