|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
632290 |
| 005 |
20251028071619.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\conf\33998
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\conf\33996
|
| 090 |
|
|
|a 632290
|
| 100 |
|
|
|a 20201110d2020 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 101zy
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Коррекция профилей распределения интенсивности элементов с учетом неравномерности распыления оптического эмиссионного спектрометра тлеющего разряда для анализа многослойных покрытий
|f А. Ломыгин, Р. С. Лаптев, И. А. Шулепов
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 225 |
1 |
|
|a Проблемы надежности материалов
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с экрана
|
| 320 |
|
|
|a [Библиогр.: с. 52 (2 назв.)]
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\conf\33987
|t Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения
|o сборник научных трудов Международной научно-технической молодежной конференции, Томск, 21–25 сентября 2020 г.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет. Инженерная школа новых производственных технологий; под ред. С. П. Буяковой
|v [С. 51-52]
|d 2020
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a коррекция
|
| 610 |
1 |
|
|a профили
|
| 610 |
1 |
|
|a интенсивность
|
| 610 |
1 |
|
|a распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a неравномерность
|
| 610 |
1 |
|
|a оптический спектрометр
|
| 610 |
1 |
|
|a тлеющие разряды
|
| 610 |
1 |
|
|a многослойные покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a элементы
|
| 610 |
1 |
|
|a эрозия
|
| 700 |
|
1 |
|a Ломыгин
|b А. Д.
|c физик
|c заведующий лабораторией Томского политехнического университета
|f 1997-
|g Антон Дмитриевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\44438
|9 21809
|
| 701 |
|
1 |
|a Лаптев
|b Р. С.
|c физик, специалист в области неразрушающего контроля
|c доцент Томского политехнического университета, доктор технических наук
|f 1987-
|g Роман Сергеевич
|y Томск
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\29924
|9 14396
|
| 701 |
|
1 |
|a Шулепов
|b И. А.
|c физик
|c инженер-проектировщик Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук
|f 1954-
|g Иван Анисимович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28219
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет
|b Инженерная школа ядерных технологий
|b Отделение экспериментальной физики
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\23549
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20201127
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63824
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
