Формирование функциональных алюминиевых покрытий при магнетронном распылении с комбинированным источником питания

Dettagli Bibliografici
Parent link:Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине. Российский и международный опыт подготовки кадров.— 2020.— [С. 45]
Autore principale: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Ente Autore: Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Riassunto:Заглавие с экрана
Lingua:russo
Pubblicazione: 2020
Soggetti:
Accesso online:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63209
Natura: Elettronico Capitolo di libro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=632101

Documenti analoghi