Формирование функциональных алюминиевых покрытий при магнетронном распылении с комбинированным источником питания

Bibliographic Details
Parent link:	Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине. Российский и международный опыт подготовки кадров.— 2020.— [С. 45]
Main Author:	Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Summary:	Заглавие с экрана
Language:	Russian
Published:	2020
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс функциональные покрытия алюминиевые покрытия магнетронное распыление источники питания металлические покрытия оптическая спектроскопия плазма
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63209
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=632101

Internet