|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
632077 |
| 005 |
20260209150814.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\conf\33778
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\conf\33775
|
| 090 |
|
|
|a 632077
|
| 100 |
|
|
|a 20201008d2020 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 101zy
|
| 135 |
|
|
|a drgn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Исследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями
|f Г. А. Блейхер, В. П. Кривобоков, Д. В. Сиделёв [и др.]
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с экрана
|
| 320 |
|
|
|a [Библиогр.: с. 22 (3 назв.)]
|
| 338 |
|
|
|b Российский фонд фундаментальных исследований
|d 18-08-00454
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\conf\33533
|t Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине. Российский и международный опыт подготовки кадров
|o сборник научных трудов X Международной научно-практической конференции, г. Томск, 09 – 11 сентября 2020 г.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет, Инженерная школа ядерных технологий ; Российский фонд фундаментальных исследований ; ред. кол. И. В. Шаманин, В. П. Кривобоков, А. Г. Горюнов, В. А. Карелин
|v [С. 22]
|d 2020
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a самораспыление
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронные распылительные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a металлические мишени
|
| 610 |
1 |
|
|a покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 701 |
|
1 |
|a Блейхер
|b Г. А.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1961-
|g Галина Алексеевна
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28948
|9 13681
|
| 701 |
|
1 |
|a Кривобоков
|b В. П.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1948-
|g Валерий Павлович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971
|9 9290
|
| 701 |
|
1 |
|a Сиделёв
|b Д. В.
|c физик
|c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук
|f 1991-
|g Дмитрий Владимирович
|y Томск
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34510
|9 17891
|
| 701 |
|
1 |
|a Грудинин
|b В. А.
|c физик
|c инженер Томского политехнического университета
|f 1995-
|g Владислав Алексеевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\42339
|9 21518
|
| 701 |
|
1 |
|a Попов
|b Р. В.
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет
|b Инженерная школа ядерных технологий
|b Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\23561
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20201102
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63183
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
