Исследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями

Исследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями

Bibliographic Details
Parent link:	Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине. Российский и международный опыт подготовки кадров: сборник научных трудов X Международной научно-практической конференции, г. Томск, 09 – 11 сентября 2020 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет, Инженерная школа ядерных технологий ; Российский фонд фундаментальных исследований ; ред. кол. И. В. Шаманин, В. П. Кривобоков, А. Г. Горюнов, В. А. Карелин. [С. 22].— , 2020
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Other Authors:	Блейхер Г. А. Галина Алексеевна, Кривобоков В. П. Валерий Павлович, Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович, Грудинин В. А. Владислав Алексеевич, Попов Р. В.
Summary:	Заглавие с экрана
Published:	2020
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс самораспыление магнетронные распылительные системы металлические мишени покрытия осаждение
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63183
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=632077

Internet

http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63183