Исследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями

Bibliographic Details
Parent link:	Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине. Российский и международный опыт подготовки кадров.— 2020.— [С. 22]
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Other Authors:	Блейхер Г. А. Галина Алексеевна, Кривобоков В. П. Валерий Павлович, Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович, Грудинин В. А. Владислав Алексеевич, Попов Р. В.
Summary:	Заглавие с экрана
Language:	Russian
Published:	2020
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс самораспыление магнетронные распылительные системы металлические мишени покрытия осаждение
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63183
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=632077

Internet