Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика

Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика

書目詳細資料
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XVII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 21-24 апреля 2020 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2020 Т. 1 : Физика.— 2020.— [С. 236-238]
主要作者:	Сунь Чжилэй
Corporate Authors:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Лаборатория плазменных гибридных систем, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов
其他作者:	Конищев М. Е. Максим Евгеньевич (научный руководитель), Пичугин В. Ф. Владимир Федорович
總結:	Заглавие с экрана In the present paper we investigated nitrogen-doped titanium oxide thin films, deposited using magnetron sputtering with different regimes. The influence of reactive atmosphere and substrate bias on film deposition rate, refractive index, phase structure and topography has been analyzed. Regime with N[2]/O[2] ratio of 1-1 was characterized with maximum deposition rate. Addition of argon intro reactive atmosphere and substrate bias has led to the amorphous structure and flattened surface of TiO[x]N[y] films.
語言:	俄语
出版:	2020
主題:	электронный ресурс труды учёных ТПУ оксид титана магнетронное распыление осаждение фазовый состав тонкие пленки постоянный ток
在線閱讀:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/62569
格式:	電子 Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=631543

相似書籍

Оптические свойства пленок азотосодержащего оксида титана, осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
由: Сунь Чжилэй
出版: (2019)

Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук
由: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
出版: (2012)

Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
由: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
出版: (2009)

Электропроводность тонких плёнок оксида титана, полученных методом среднечастотного магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
由: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
出版: (2009)

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
由: Сунь Чжилэй
出版: (Томск, 2020)

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
由: Сунь Чжилэй
出版: (Томск, 2020)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
由: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
出版: (2009)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
由: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
出版: (Томск, [Б. и.], 2016)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
由: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
出版: (Томск, [Б. и.], 2016)

Свойства пленок оксида танатала, полученных ВЧ магнетронным напылением; Современные техника и технологии; Т. 2
由: Петрова Ю. С.
出版: (2009)

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
由: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
出版: (Москва, Техносфера, 2014)

Осаждение плёнок оксида меди при магнетронном распылении в металлическом режиме; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
由: Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна
出版: (2022)

Structural features of N-containing titanium dioxide thin films deposited by magnetron sputtering; Thin Solid Films; Vol. 627
出版: (2017)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
由: Пустовалова А. А. Алла Александровна
出版: (Томск, 2017)

Зависимость режимов осаждения оксида титана от параметров источника питания МРС; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
由: Андреева М. А.
出版: (2016)

Analysis of Magnetron-Deposited Titanium Oxynitride Coatings by Scanning Electron Microscopy and Raman Scattering; Advanced Materials Research : Radiation and nuclear techniques in material science; Vol. 1084 : Physical-Technical Problems of Nuclear Science, Energy Generation, and Power Industry (PTPAI -2014)
出版: (2015)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
由: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
出版: (Томск, [Б. и.], 2016)

Анализ морфологии поверхности и оптических свойств пленок сульфида олова, полученных DC-магнетронным распылением; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
由: Дронова М. В.
出版: (2015)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
由: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
出版: (Томск, [Б. и.], 2016)

Deposition of barrier layers of titanium nitride using dual magnetron; Известия вузов. Физика; V. 58, № 9-3
由: Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich
出版: (2015)

Effect of Glancing Angle Deposition to the Morphology of Calcium Phosphate Thin Coatings; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
出版: (2019)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
由: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
出版: (Томск, 2016)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
由: Пустовалова А. А. Алла Александровна
出版: (Томск, [Б. и.], 2017)

Влияние процесса распыления на структуру ВЧ-магнетронных тонких пленок; Перспективы развития фундаментальных наук
由: Шаронова А. А. Анна Александровна
出版: (2013)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
由: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
出版: (Томск, 2016)

Оптические свойства пленок ITO; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 2 : Химия
由: Петрюк А. Е.
出版: (2018)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
由: Пустовалова А. А. Алла Александровна
出版: (Томск, 2017)

Characterzations of nitrogen-doped titanium dioxide films prepared by reactive magnetron sputtering deposition; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
由: Pichugin V. F. Vladimir Fyodorovich
出版: (2016)

Structural Changes of Titanium Dioxide Thin Films Deposited by Reactive Magnetron Sputtering through Nitrogen Incorporation; Key Engineering Materials; Vol. 683 : Multifunctional Materials: Development and Application
由: Pustovalova A. A. Alla Aleksandrovna
出版: (2016)

Деградация тонких плёнок Ti при знакопеременном изгибе; Современные техника и технологии; Т. 2
由: Цао Янь
出版: (2007)

Морфология поверхности покрытий оксидов и/или оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
由: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
出版: (2014)

Solid oxide fuel cell anode surface modification by magnetron sputtering of NiO/YSZ thin film; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 830 : Energy Fluxes and Radiation Effects 2016
出版: (2017)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
由: Пустовалова А. А. Алла Александровна
出版: (Томск, [Б. и.], 2017)

Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
由: Шипилова А. В. Анна Викторовна
出版: (Томск, 2018)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
由: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
出版: (Томск, [Б. и.], 2018)

The Reactive Deposition of TiO[x] Thin Films; Advanced Materials Research; Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014)
由: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
出版: (2014)

Т. 1; Технология тонких пленок
出版: (1977)

Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана; Современные техника и технологии; Т. 3
由: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
出版: (2010)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
由: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
出版: (Томск, 2016)

Свойства тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного распыления; Материаловедение; № 9
由: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
出版: (2016)