Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика

Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика

ग्रंथसूची विवरण
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XVII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 21-24 апреля 2020 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2020 Т. 1 : Физика.— 2020.— [С. 236-238]
मुख्य लेखक:	Сунь Чжилэй
निगमित लेखकों:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Лаборатория плазменных гибридных систем, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов
अन्य लेखक:	Конищев М. Е. Максим Евгеньевич (научный руководитель), Пичугин В. Ф. Владимир Федорович
सारांश:	Заглавие с экрана In the present paper we investigated nitrogen-doped titanium oxide thin films, deposited using magnetron sputtering with different regimes. The influence of reactive atmosphere and substrate bias on film deposition rate, refractive index, phase structure and topography has been analyzed. Regime with N[2]/O[2] ratio of 1-1 was characterized with maximum deposition rate. Addition of argon intro reactive atmosphere and substrate bias has led to the amorphous structure and flattened surface of TiO[x]N[y] films.
भाषा:	रूसी
प्रकाशित:	2020
विषय:	электронный ресурс труды учёных ТПУ оксид титана магнетронное распыление осаждение фазовый состав тонкие пленки постоянный ток
ऑनलाइन पहुंच:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/62569
स्वरूप:	इलेक्ट्रोनिक पुस्तक अध्याय
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=631543

समान संसाधन

Оптические свойства пленок азотосодержащего оксида титана, осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
द्वारा: Сунь Чжилэй
प्रकाशित: (2019)

Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук
द्वारा: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
प्रकाशित: (2012)

Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
द्वारा: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
प्रकाशित: (2009)

Электропроводность тонких плёнок оксида титана, полученных методом среднечастотного магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
द्वारा: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
प्रकाशित: (2009)

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
द्वारा: Сунь Чжилэй
प्रकाशित: (Томск, 2020)

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
द्वारा: Сунь Чжилэй
प्रकाशित: (Томск, 2020)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
द्वारा: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
प्रकाशित: (2009)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
द्वारा: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
प्रकाशित: (Томск, [Б. и.], 2016)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
द्वारा: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
प्रकाशित: (Томск, [Б. и.], 2016)

Свойства пленок оксида танатала, полученных ВЧ магнетронным напылением; Современные техника и технологии; Т. 2
द्वारा: Петрова Ю. С.
प्रकाशित: (2009)

Осаждение плёнок оксида меди при магнетронном распылении в металлическом режиме; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
द्वारा: Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна
प्रकाशित: (2022)

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
द्वारा: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
प्रकाशित: (Москва, Техносфера, 2014)

Structural features of N-containing titanium dioxide thin films deposited by magnetron sputtering; Thin Solid Films; Vol. 627
प्रकाशित: (2017)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
द्वारा: Пустовалова А. А. Алла Александровна
प्रकाशित: (Томск, 2017)

Зависимость режимов осаждения оксида титана от параметров источника питания МРС; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
द्वारा: Андреева М. А.
प्रकाशित: (2016)

Analysis of Magnetron-Deposited Titanium Oxynitride Coatings by Scanning Electron Microscopy and Raman Scattering; Advanced Materials Research : Radiation and nuclear techniques in material science; Vol. 1084 : Physical-Technical Problems of Nuclear Science, Energy Generation, and Power Industry (PTPAI -2014)
प्रकाशित: (2015)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
द्वारा: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
प्रकाशित: (Томск, [Б. и.], 2016)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
द्वारा: Пустовалова А. А. Алла Александровна
प्रकाशित: (Томск, [Б. и.], 2017)

Deposition of barrier layers of titanium nitride using dual magnetron; Известия вузов. Физика; V. 58, № 9-3
द्वारा: Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich
प्रकाशित: (2015)

Effect of Glancing Angle Deposition to the Morphology of Calcium Phosphate Thin Coatings; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
प्रकाशित: (2019)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
द्वारा: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
प्रकाशित: (Томск, [Б. и.], 2016)

Влияние процесса распыления на структуру ВЧ-магнетронных тонких пленок; Перспективы развития фундаментальных наук
द्वारा: Шаронова А. А. Анна Александровна
प्रकाशित: (2013)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
द्वारा: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
प्रकाशित: (Томск, 2016)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
द्वारा: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
प्रकाशित: (Томск, 2016)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
द्वारा: Пустовалова А. А. Алла Александровна
प्रकाशित: (Томск, 2017)

Анализ морфологии поверхности и оптических свойств пленок сульфида олова, полученных DC-магнетронным распылением; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
द्वारा: Дронова М. В.
प्रकाशित: (2015)

Characterzations of nitrogen-doped titanium dioxide films prepared by reactive magnetron sputtering deposition; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
द्वारा: Pichugin V. F. Vladimir Fyodorovich
प्रकाशित: (2016)

Оптические свойства пленок ITO; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 2 : Химия
द्वारा: Петрюк А. Е.
प्रकाशित: (2018)

Structural Changes of Titanium Dioxide Thin Films Deposited by Reactive Magnetron Sputtering through Nitrogen Incorporation; Key Engineering Materials; Vol. 683 : Multifunctional Materials: Development and Application
द्वारा: Pustovalova A. A. Alla Aleksandrovna
प्रकाशित: (2016)

Деградация тонких плёнок Ti при знакопеременном изгибе; Современные техника и технологии; Т. 2
द्वारा: Цао Янь
प्रकाशित: (2007)

Solid oxide fuel cell anode surface modification by magnetron sputtering of NiO/YSZ thin film; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 830 : Energy Fluxes and Radiation Effects 2016
प्रकाशित: (2017)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
द्वारा: Пустовалова А. А. Алла Александровна
प्रकाशित: (Томск, [Б. и.], 2017)

Морфология поверхности покрытий оксидов и/или оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
द्वारा: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
प्रकाशित: (2014)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
द्वारा: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
प्रकाशित: (Томск, [Б. и.], 2018)

Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
द्वारा: Шипилова А. В. Анна Викторовна
प्रकाशित: (Томск, 2018)

The Reactive Deposition of TiO[x] Thin Films; Advanced Materials Research; Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014)
द्वारा: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
प्रकाशित: (2014)

Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана; Современные техника и технологии; Т. 3
द्वारा: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
प्रकाशित: (2010)

Т. 1; Технология тонких пленок
प्रकाशित: (1977)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
द्वारा: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
प्रकाशित: (Томск, [Б. и.], 2018)

Свойства тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного распыления; Материаловедение; № 9
द्वारा: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
प्रकाशित: (2016)